Система - вентиль
Cтраница 5
Верх колонны соединяют с атмосферой, а низ колонны - с калибруемым поршневым манометром. Давление, уравновешенное ртутным манометром, легко определить, зная размеры манометра. Это давление с помощью системы вентилей и пресса создается на верхней колодке колонны, куда теперь присоединяют и калибруемый манометр. С низом колонны соединяют второй поршневой манометр; давление, при котором он уравновешен, равно давлению в низу колонны во время первого измерения плюс вес столба ртути. Повторяя переключение двух поршневых манометров, постепенно увеличивают давление каждый раз на 1 1 5 бар и в конце концов достигают давления 2500 бар. [61]
Ампула, содержащая исследуемое вещество ( измерительная ячейка), нагревается в электропечи. Вся конструкция помещается в камеру под большим давлением инертного газа. Аргон из баллона через систему вентилей подавался в камеру 3 для очистки. [62]
 |
Схема установки для. вакуумного напыления. [63] |
Вакуумная система служит для создания вакуума в рабочем пространстве установки, где происходит напыление. Для создания необходимого разрежения применяют диффузионный 5 и форвакуумный 7 насосы. Существенной частью вакуумной системы является система вентилей и клапанов 6, позволяющая периодически создавать вакуум и заполнять воздухом эвакуированное пространство при смене объектов, испарителей и при других операциях. [64]
Газ высокого давления из подводящего газопровода поступает в полость регулятора А. Далее газ, проходя через переменный дросселирующий зазор, образуемый седлом 6 и клапаном 7, редуцируется до заданного низкого давления. Заданное низкое давление на выходе регулятора зависит от площади дросселирующего зазора, который автоматически устанавливается подвижной системой регулятора. Полость регулятора А через сверление в клапане 7 соединена с камерой Г, чем достигается разгруженность клапана в любом его положении. Из полости высокого давления регулятора А через отверстия и систему вентилей 9 часть газа перепускается в нагружающую камеру В, чем создается необходимое нагружающее давление, действующее на мембрану 4 со стороны нагружающей камеры. Со стороны низкого давления газ проходит по импульсной трубке 5 в импульсную камеру Б регулятора, где оказывает воздействие на мембрану с другой стороны. Мембрана 4, опорный диск 3, клапан 7 и пружины 8 и 2 составляют подвижную систему регулятора. При постоянном расходе газа подвижная система регулятора находится в покое, так как действие сил на мембрану со стороны нагружающей камеры равно действию сил со стороны импульсной камеры. При этом проходное сечение регулятора открыто на величину, соответстг. [65]
Страницы: 1 2 3 4 5