Система - непрерывное действие
Cтраница 1
Системы непрерывного действия, предполагающие непрерывную связь выхода со входом, имеют много разновидностей, например системы с пропорциональным регулированием, в которых воздействие на регулирующий орган ( двигатель) изменяется пропорционально ошибке; системы с регулированием по ошибке и по ее производной; системы с регулированием по ошибке и ее интегралу; системы с жесткой обратной связью по первой и второй производным от выходной величины и некоторые другие. [1]
Системы непрерывного действия более целесообразно использовать для нанесения пленок на всю площадь поверхности подложки, например, для металлизации лент, плоских заготовок и пластиковых изделий или для изготовления оптических покрытий линз. Если требуется определенная конфигурация слоя, то в процессе напыления применяют маски или используют метод травления уже напыленного слоя. Однако метод дифференциального травления, вообще говоря, не применим для получения многослойных пленочных структур методом напыления, ради которых, собственно, и были созданы рассматриваемые высокомеханизированные системы. Поэтому для изготовления многослойных микроэлектронных схем приходится применять маски и устройства для их смены. Большие трудности возникают при прецизионном совмещении последовательно серии масок с подложкой внутри вакуумной системы. Непосредственный контакт маски с подложкой может привести к нежелательному изменению маски из-за теплового расширения или коробления. Однако еще более существенно то, что по мере миниатюризации тонкопленочных элементов техника напыления оказывается уже не в состоянии обеспечить требуемую точность размеров, реализуемую лишь с помощью прецизионных фотолитографических методов ( см. гл. Именно поэтому в последние годы использование автоматизированных напылительных систем для микроэлектронных применений заметно снизилось. Растущий объем производства полупроводниковых микросхем, изготавливаемых методами полупроводниковой технологии, делает с экономической точки зрения все более привлекательным применение простых систем непрерывного действия для осаждения лишь одного слоя. [2]
Системы непрерывного действия могут быть линейными только в условиях идеализации. Реальные системы всегда нелинейны. [3]
Системы непрерывного действия, предполагающие непрерывную связь выхода со входом, имеют много разновидностей, например системы с пропорциональным регулированием, в которых воздействие на регулирующий орган ( двигатель) изменяется пропорционально ошибке; системы с регулированием по ошибке и по ее производной; системы с регулированием по ошибке и ее интегралу; системы с жесткой обратной связью по первой и второй производным от выходной величины и некоторые другие. [4]
Системы непрерывного действия, предполагающие непрерывную связь выхода со входом, имеют много разновидностей. Например, системы пропорционального регулирования, изменяющие выходную величину пропорционально ошибке; системы с регулированием, пропорциональным первой и второй производным от ошибки; системы с регулированием, пропорциональным интегралу ошибки; системы с жесткой обратной связью по первой и второй производным выходной величины и некоторые другие. [5]
Системы непрерывного действия, в которых не нарушается связь между регулируемой и заданной величинами. [6]
Самосплавную систему непрерывного действия применяют на комплексах промышленного типа с передовой технологией содержания крупного рогатого скота. [7]
Для систем непрерывного действия максимальная производительность насоса должна на - 10 - 25 % превышать максимальную производительность реактора. Для систем периодического действия производительность насоса должна обеспечить максимальный расход жидкости в соответствии с графиком работы заполняемого ( опорожняемого) аппарата. [8]
 |
Схема непрерывного контроля положения ( а к ее характеристики ( б. [9] |
В системе непрерывного действия теоретически можно получить любую требуемую точность остановки. [10]
 |
Регулирование системы водяного отопления без горячего водоснабжения ( не показаны предельные и первичные регуляторы. [11] |
В системах непрерывного действия количество пара, расходуемого на обогревание, колеблется в зависимости от теплопотреб-ностей зоны. Для уравновешивания расходов пара обычно на ответвлениях к отдельным потребителям устанавливаются ограничители в виде калиброванных шайб. Иногда для сокращения подачи пара применяют один из указанных ниже способов. [12]
В системах непрерывного действия между входными и выходными величинами всех элементов существует непрерывная функциональная связь. Выходные величины всех элементов в этих системах в каждый момент времени определяются значением входных величин. Статическая характеристика усилительного или другого элемента, определяющая связь между выходным хвых и входным хт сигналами, в этих системах представляет в общем случае непрерывную кривую, а для линейного элемента - прямую, проходящую через начало координат. Примерами систем непрерывного действия являются рассмотренные нами ранее стабилизаторы скорости вращения электродвигателя и следящая система. [13]
 |
Система регулирования прямого ( а и непрямого ( б действия. [14] |
В системах непрерывного действия существует постоянная функциональная связь между отдельными элементами системы. Текущее значение регулируемого параметра непрерывно сравнивается с заданным значением, а регулирующий орган непрерывно осуществляет регулирующее воздействие. Так, в частности, система автоматического регулирования, показанная на рис. 11.4, б, является системой непрерывного действия. [15]
Страницы: 1 2 3 4 5