Ионно-оптическая система

Cтраница 2

С этой целью в масс-спектрометрах, приспособленных для исследований мета-стабильных ионов, в промежуточном фокусе ионно-оптической системы, являющемся одновременно фокусом по энергиям ( см. рис. 1.11), устанавливается дополнительный коллектор, на котором при развертке Е или U появляются токи, отвечающие: вторичным ионам. Измеряя отношения UJU0 или Е / Е0, при которых наблюдаются максимумы ионных токов, находят совокупность значений для различных метастабильных переходов, а затем с помощью магнитной развертки снимают масс-спектры дочерних ионов и определяют их массы. [16]

Значительное снижение iycK достигается при экранировании искрового промежутка и замене на сетку пластины с первой заземленной щелью ионно-оптической системы прибора. [17]

Источник включает в себя: 1) обогреваемую трубку напуска с натекателем, по которой исследуемый газ поступает в ионизационную камеру; 2) ионизационную камеру, где молекулы газа пронизывают поток электронов, испускаемых катодом; 3) электронную пушку, формирующую пучок ионизирующих электронов; 4) ионно-оптическую систему, создающую коллимированный пучок ионов. [18]

Схема ионного источника в триодном ( а и тетрадном ( ff исполнении. [19]

Возможности ионной литографии интенсивно изучаются, однако к ее технологическому использованию ведет еще долгий путь. В ней используются уменьшающие ионно-оптические системы высокого разрешения в сочетании с прецизионным движением ( шаг-и-повторение) подложки. Поскольку достигается многократное уменьшение, пучки ионов, проходящие через маску, на подложке концентрируются, что при использовании органического резиста дает возможность экспонировать весь кристалл ( чип) за несколько миллисекунд. Кроме того, можно проводить прямое травление диэлектрика ( SiO2, Si3N4), полупроводника ( Si, GaAs) и металлических слоев при времени экспонирования порядка секунды; при этом указанные слои могут быть использованы как неорганические резисты. [20]

Схема ионного источника в триодном ( а н тетродном ( б исполнении. [21]

Возможности ионной литографии интенсивно изучаются, однако к ее технологическому использованию ведет еще долгий путь. В ней используются уменьшающие ионно-оптические системы высокого разрешения в сочетании с прецизионным движением ( шаг-и-повторение) подложки. Поскольку достигается многократное уменьшение, пучки ионов, проходящие через маску, на подложке концентрируются, что при использовании органического резиста дает возможность экспонировать весь кристалл ( чип) за несколько миллисекунд. Кроме того, можно проводить прямое травление диэлектрика ( Si02, Si3N4), полупроводника ( Si, GaAs) и металлических слоев при времени экспонирования порядка секунды; при этом указанные слои могут быть использованы как неорганические резисты. [22]

Первый из этих блоков предназначен для питания масс-спектрометра стабилизированным напряжением 8 и 22 б постоянного тока и нестабилизированным 30 в постоянного тока. Блок ускоряющего напряжения служит для питания электродов ионно-оптической системы источников ионов. Он обеспечивает получение на выходе ускоряющего, вытягивающего, фокусирующего и корректирующего ( относительно земли) напряжений. Блок питания газового источника ионов служит для питания и стабилизации тока электронной эмиссии катода и обеспечивает два диапазона ионизирующего напряжения 5 - 20 и 20 - 100 в; блок питания трехленточного источника ионов предназначен для питания ионизатора и ( поочередно) двух испарителей источника. Канал питания источников ионов масс-спектрометров МХ1304 и МХ1306 не имеет блока питания трехленточного источника. В масс-спектрометре МХ1306 дополнительно включен блок регулирования и стабилизации температуры ионизационной камеры. [23]

Первый из этих блоков предназначен для питания масс-спектрометра стабилизированным напряжением 8 и 22 в постоянного тока и нестабилизированным 30 в постоянного тока. Блок ускоряющего напряжения служит для питания электродов ионно-оптической системы источников ионов. Он обеспечивает получение на выходе ускоряющего, вытягивающего, фокусирующего и корректирующего ( относительно земли) напряжений. Блок питания газового источника ионов служит для питания и стабилизации тока электронной эмиссии катода и обеспечивает два диапазона ионизирующего напряжения 5 - 20 и 20 - 100 в; блок питания трехленточного источника ионов предназначен для питания ионизатора и ( поочередно) двух испарителей источника. Канал питания источников ионов масс-спектрометров МХ1304 и МХ1306 не имеет блока питания трехленточного источника. В масс-спектрометре МХ1306 дополнительно включен блок регулирования и стабилизации температуры ионизационной камеры. [24]

Источник ионов ИЭ-02.| Трехленточный источник ионов ИТ-02. [25]

Испаритель и ионизатор нагреваются проходящим по ним электрическим током: испаритель - до температуры испарения ( распыления) пробы, ионизатор - до температуры ионизации анализируемого вещества. Часть молекул, распыленная с испарителя ( коэффициент напыления составляет примерно 0 25), достигает поверхности ионизатора. Образовавшиеся ионы формируются ионно-оптической системой источника в пучок строго определенной формы. [26]

Для более полного изучения вопроса целесообразно рассмотреть кратко историю развития метода. Маттаух и Герцог ( 1934) разработали ионно-оптическую систему, которая позволяет использовать фотопластину, а Демпстер ( 1935, 1936) - искровой источник ионов, в котором на электроды подается высокочастотное напряжение. [27]

В ЛАБОРАТОРИИ был выполнен полный цикл научно-исследовательских и конструкторских работ по указанной теме - определение облика двигателя, теоретическая и лабораторная проработка его основных узлов, законченный конструкторский проект, создание рабочего образца малоресурсного ионного двигателя ( МИД) и его испытание на борту баллистической ракеты. Основными элементами МИД а являются: система поверхностной ионизации паров цезия на пористом вольфраме, создающая положительные ионы цезия; ионно-оптическая система для ускорения и фокусировки ионного потока, создающего тягу двигателя; система нейтрализации ионного пучка вводимыми в него электронами. [28]

Общий вид масс-спектрометра с совмещенными сек-торяыми полями. [29]

Теория этого прибора предполагает, что границы обоих нолей совпадают на оптической оси. В действительности же магнитное поле распространяется значительно дальше по оптической оси, чем электрическое поле. Вследствие того что в этом приборе ионы движутся медленнее, чем в приборе с ординарной фокусировкой, траектории их под действием рассеянного магнитного поля в большей степени отклоняются. Этот фактор был учтен при проектировании ионно-оптической системы масс-спектрометра. [30]

Страницы: 1 2 3