Вакуумная система

Cтраница 2

Схема вакуумной системы с предельным остаточным давлением выше 6 5 - 10 - & Па.| Схема вакуумной системы с остаточным давлением ниже 6 5 - Ю - Па. [16]

Вакуумная система представляет собой систему с безмасляной откачкой. [17]

Вакуумная система позволяла создавать вакуум до 10 - 4 мм рт. ст. Примененная электрическая схема обеспечивала плавное изменение температуры от комнатной до 2500 С. [18]

Вакуумный золотник полуавтомата откачки. [19]

Вакуумная система предназначена для откачки газа из ламп. Она состоит из двух частей - неподвижной системы, расположенной на станине, и подвижной, находящейся на карусели. Золотник - два пришлифованных друг к другу диска с расположенными по окружности отверстиями. Один из дисков неподвижно закреплен на станине, другой вращается вместе с каруселью. [20]

Вакуумная система этого полуавтомата безотказно работает при откачке любых потоков газа. Это позволяет в широких пределах форсировать режимы откачки и увеличивать ее производительность. [21]

Вакуумные системы применяют в оборудовании для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов, в технологических установках полупроводникового производства, а также в различных установках других отраслей промышленности. [22]

Вакуумные системы для откачки электровакуумных приборов подразделяются на два основных вида: 1) вакуумные системы откачных постов; 2) вакуумные системы откачных машин. [23]

Вакуумная система ( рис. 7.46, б) отличается от предыдущей наличием высоковакуумного вентиля 3 на стороне высокого вакуума, линии байпасной ( вспомогательной) откачки с вентилем / /, форвакуумного бачка 7 и клапана 8 аварийного закрытия. Высоковакуумный вентиль 3 изолирует вакуумную систему от контакта с атмосферой во время установки нового изделия. Применение байпасной линии с вентилем / / позволяет исключить непроизводительные потери времени на охлаждение и разогрев пароструйного диффузионного насоса. При откачке воздуха из прибора через байпасную магистраль пароструйный диффузионный насос / работает на форвакуумный бачок 7, который отделен в это время от механического вакуумного насоса 9 клапаном 8 аварийного закрытия. Клапан 8 выполняет роль защитного устройства, предотвращающего прорыв атмосферы и попадание масла из механического вакуумного насоса в пароструйный при обесточивании вакуумной установки. С целью исключения попадания масла из механического вакуумного насоса в клапан 8 и вентиль / У иногда предусматривают вентиль 12, с помощью которого при выключении установки пространство над входным патрубком механического вакуумного насоса сообщается с атмосферой. [24]

Типовые вакуумные схемы беззолотниковых откачных машин. [25]

Вакуумная система ( рис. 7.49, а) выполнена на базе малогабаритных двухступенчатых механических вакуумных насосов /, встроенных в откачные гнезда полуавтомата. Сравнительно низкое давление в откачном гнезде достигается за счет очень коротких коммуникаций. [26]

Вакуумная система ( рис. 7.49, г) применена в 16-местном от-качном полуавтомате. Шестнадцать откачных постов разбиты на четыре группы, каждая из которых обслуживается одним многокамерным механическим вакуумным насосом /, помещенным на нижней части карусели. Предварительная откачка изделия осуществляется через вентиль 6 одной из камер многокамерного механического вакуумного насоса. В это время клапан 10 закрыт. При повороте карусели механизм 8 разобщает клапан 4 и стационарную вакуумную систему предварительной откачки и наполнения колпака. [27]

Вакуумная система ( рис. 7.51) обеспечивает получение в рабочем объеме 1 высокого вакуума, пуск в рабочий объем воздуха и перегрузку обрабатываемых изделий без остановки насосов. Это устраняет нежелательное соприкосновение горячих рабочих жидкостей пароструйных насосов 9 и 10 с воздухом при давлениях, превышающих допустимые для них противодавления. [28]

Вакуумная система собрана по схеме с одним форвакуумным 7 ( ВН-1МГ), одним высоковакуумным 8 ( Н-2 Т) насосами и обводным трубопроводом форвакуум-ной откачки камеры. [29]

Вакуумная система включает в себя насос предварительного разрежения ВН-2МГ, диффузионный насос Н-5 С и ряд затворов и вентилей. [30]

Страницы: 1 2 3 4