Cтраница 3
Из приведенных соотношений видно, что разрешающая способность пропорциональна К для проекционного способа и К0 5 для контактного способа. Очевидно, для оптического диапазона ( Я 0 2 - f - 0 8 мкм) разрешение не может превышать 0 2 мкм. Это ограничение оптического метода экспонирования может быть преодолено лишь при переходе в более коротковолновый, например рентгеновский, диапазон электромагнитного излучения, где К 0 5 - 5 нм. Однако реальные оптические системы, реальные условия формирования микроизображения не позволяет достичь и этих предельных значений и в настоящее время предельная разрешающая способность оптических методов не превышает 0 5 - 0 8 мкм, а хорошо освоенные и широко используемые процессы и системы обеспечивают разрешающую способность 1 - 1 5 мкм. Кроме длины волны излучения и другие параметры ограничивают реальную разрешающую способность оптических методов и часто определяют возможность использования того или иного метода на практике. [31]