Cтраница 1
Двухслойная система обладает той же наиболее низкой температурой кипения и в процессе ее перегонки при постоянном давлении температура остается постоянной, пока полностью не израсходуется один из слоев, после чего при дальнейшей перегонке температура будет повышаться. Вследствие этого ДВУХСЛОЙНУЮ систему называют гетеро-азеотропной. Однако состав пара в этом случае может быть промежуточным между составами жидких слоев или выходить за эти пределы, или, в частном случае, совпадать с составом одного из них. [1]
Двухслойная система титан - золото ( толщина Ti около 100 нм, Аи около 1 мкм) испытывает существенное старение при повышенной температуре 150 - 200 С. Механическая стабильность системы нарушается уже при выдержке при повышенной температуре в течение 10 ч; а через 100 ч пленочная система полностью отслаивается от резистора. [2]
![]() |
Металлы, образующие конгруэнтно плавящиеся инертметаллические соединения ( на ребрах графа металлы, образующие интсрмсталлиды. [3] |
Двухслойные системы типа хром - золото, титан-золото ( толщина подслоя 10 нм, золота 1 мкм) испытывают существенное старение при повышенных температурах. С увеличением времени выдержки переходное сопротивление и шумы возрастают в несколько раз, что указывает на наличие взаимной диффузии с образованием интер-металлидов и гетерогенной структуры. При повышенной температуре возможны отслоения пленки контактами площадки от резисторов из нитридов тантала. [4]
Такие двухслойные системы нужно рассчитывать, используя правило смеси. [5]
Пусть двухслойная система несмешивающихся жидкостей заполняет сосуд, совершающий высокочастотные малоамплитудные вибрации в горизонтальном направлении. Толщины слоев одинаковы, вертикальные размеры сосуда предполагаются малыми по сравнению с горизонтальными, поэтому краевыми эффектами можно пренебречь, считая сосуд неограниченным по горизонтали. [6]
Для двухслойных систем характерно наличие стабилизирующих вант, расположенных параллельно основным несущим вантам. Напрягающие ванты могут находиться ниже ( рис. 19.23, б, д) или выше ( рис. 19.23, е, г) несущих вант и соединяться с ними гибкими тяжами или распорками. Дальнейшим развитием двухпоясных систем является превращение их в вантовые фермы, где растяжки заменены наклонными раскосами. [8]
В двухслойной системе для электронной литографии в качестве чувствительного или планаризационного слоя используются сополимеры метилмета-крнлата с метакрнловой кислотой и двойное проявление. Сначала обрабатывают проявителем верхний слой резиста, причем проявитель составляют так, чтобы планарнзационный слой растворялся значительно медленнее и нарушалась только поверхность раздела фаз за счет набухания. Для достижения чувствительности по крайней мере 3 - 10 - 5 Кл / см2 необходимо использовать этот сополимер в качестве верхнего слоя. Затем проводят изотропное ПХТ планаризационного слоя, поэтому эта двухслойная система называется wet-etch ПМ [ 13; пат. [9]
В двухслойной системе для электронной литографии в качестве чувствительного или планаризационного слоя используются сополимеры метилмета-крилата с метакриловой кислотой и двойное проявление. Сначала обрабатывают проявителем верхний слой резиста, причем проявитель составляют так, чтобы планаризационный слой растворялся значительно медленнее и нарушалась только поверхность раздела фаз за счет набухания. Для достижения чувствительности по крайней мере 3 - 10 - 5 Кл / см2 необходимо использовать этот сополимер в качестве верхнего слоя. Затем проводят изотропное ПХТ планаризационного слоя, поэтому эта двухслойная система называется wet-etch ПМ [ 13; пат. [10]
Характерная особенность двухслойных систем из двух взаимно нерастворимых жидкостей заключается в том, что они всегда обладают более низкими температурами кипения, чем каждая жидкость смеси в отдельности. [11]
Характерная особенность двухслойных систем из двух взаимно-нерастворимых жидкостей заключается в том, что они всегда обладают более низкими температурами кипения, чем каждая жидкость смеси в отдельности. [12]
Характерная особенность двухслойных систем из двух взаимно-нерастворимых жидкостей заключается в том, что они всегда обладают более низкими температурами кипения, чем каждая жидкость смеси в отдельности. [13]
Если в двухслойную систему, состоящую из двух практически нерастворимых жидкостей, ввести небольшое количество какого-либо третьего вещества, то через некоторое время оно может распределиться в обоих слоях. Например, если в систему вода - сероуглерод ( практически нерастворимые друг в друге жидкости ввести иод и смесь тщательно перемешать, то иод можно обнаружить и в водном, и в сероуглеродном слоях. Однако концент рация иода в сероуглероде будет значительно выше, чем в воде. При введении дополнительного количества в систему иода изменяется концентрация его в каждом слое, но отношение концентч рации при данной температуре сохраняется постоянным. [14]
Вопрос относительных достоинств двухслойной системы и системы со смешанным слоем определяется лишь требованиями, предъявляемыми к применяемой воде, и относительной стоимостью операций. [15]