Cтраница 5
Описан ряд конструкций ионных насосов с горячим катодом, в которых одновременно с ионной откачкой производится распыление какого-либо металла, чаще всего титана, для поглощения молекул газа поверхностью распыляемого металла. Работа насоса основана на способности распыленного металла интенсивно поглощать газы в присутствии электрического поля. При этом поглощающее действие особенно сильно проявляется для химически активных газов, а нейтральные газы и водяной пар удаляются главным образом ионной откачкой. Скорость откачки насосов достигает 20 000 л / с, предельное давление до 10 - 9 мм рт. ст. Титан для распыления применяют в виде проволоки, которая сматывается с катушки. Преимущество насоса - отсутствие ловушек или отражателей; кроме того, не требуется непрерывная работа форвакуум-ного насоса. [61]