Cтраница 4
С понижением температуры, а также при наличии в проявителе бромистого калия, являющегося противовуалирующей добавкой, скорость проявления гидрохинона резко падает ( при 5 С гидрохинон перестает оказывать проявляющее действие), что необходимо учитывать в процессе проведения фоторабот. [46]
При обычном однорастворном методе проявляющее вещество быстро истощается, а продукты реакции проявления ( в особенности бромиды) заметно снижают скорость проявления. Поэтому приходится или увеличивать с каждым разом время обработки последующих негативных материалов, или же поддерживать активность проявителя на неизменном уровне с помощью компенсирующего добавка. Это создает известные неудобства, не говрря уже о том, что не всегда можно точно рассчитать прогрессию удлинения времени проявления и что далеко не для всех проявителей разработаны ре-депты компенсирующих добавков. [47]
При обычном однорастворном методе проявляющее вещество быстро истощается, а продукты реакции проявления - ( в особенности бромиды) заметно снижают скорость проявления. Поэтому приходится или увеличивать с каждым разом продолжительность обработки последующих негативных материалов, или же поддерживать активность проявителя на неизменном уровне путем добавления к нему подкрепителя. [48]
Скорость проявления эмульсионных зерен с повышением температуры возрастает, причем, как правило, скорость проявления вуали возрастает больше, чем скорость проявления изображения. И, напротив, вуалирующая способность проявителя падает с понижением температуры, а, следовательно, возрастает избирательность действия проявителя. [49]
Кроме этих трех основных веществ, в состав проявителя вводят небольшие количества бромистого калия, который уменьшает плотность вуали и увеличивает контрастность изображения, но понижает скорость проявления. Иногда также добавляют дубящие вещества, которые делают эмульсию более плотной и уменьшают возможность ее повреждения. [50]
Кроме этих трех основных веществ, в состав проявителя вводят небольшие количества бромистого калия, который уменьшает плотность вуали и увеличивает контрастность изображения, но понижает скорость проявления. Иногда также добавляют дубящие вещества, которые делают эмульсию более плот ной и уменьшают возможность ее повреждения. [51]
Круг дополнительных компонентов для фоторезистов азидноготипа значительно шире, чем для других систем; он включает сенсибилизаторы, красители, адгезионные, флуоресцентные, противоореольные добавки, кислотостойкие или стабилизирующие добавки, вещества, увеличивающие скорость проявления. Кроме них могут быть введены в резист несветочувствительные соединения, имеющие поглощение в полосе азида с целью поддерживания экстинкции до и после экспонирования на одном уровне. В зависимости от назначения фоторельефа ряд добавок может быть введен в проявитель; например, для создания полимерных масок высокой оптической плотности проявитель может быть специально подкрашен. После проявления иногда вводится дополнительная обработка растворителем для того, чтобы убрать вуаль. В то же время известны и нашли промышленное применение однокомпонентные ( по реагирующему компоненту) материалы, в которых арилазид химически связан с полимером; для них нехарактерно введение добавок. [52]
ФДП-метод также основан на усилении более высоких пространственных частот вследствие диффузии свежего проявителя и продуктов окисления, тормозящих проявление. Скорость проявления зависит от степени диффузии этих продуктов в эмульсионный слой и от характера пространственных частот, которые необходимо усилить. При постоянной температуре скорость проявления зависит от концентрации проявителя. В высококонцентрированных проявителях процесс протекает значительно быстрее и степень диффузии очень мала; в этом случае усиливаются более высокие пространственные частоты. [53]
Однако и при этой толщине распределение ингибитора в слое не является однородным, при экспонировании образуется концентрационный градиент ингибитора. Изменение скорости проявления резиста в зависимости от к дает возможность характеризовать процесс проявления при определенном градиенте концентрации ингибитора. [54]