Cтраница 2
На рис. 45, а показан график, построенный Франком и Айвсом [218] по данным измерений обратной величины скорости растворения германия в 30 % - ном растворе перекиси водорода. [16]
Иначе обстоит дело при анодном растворении германия в щелочных растворах. В этом случае на скорость растворения германия наряду с его электрофизическими свойствами большое влияние оказывает концентрация гидроксильных ионов. [17]
С уменьшением температуры оба максимума сдвигаются в сторону больших концентраций щелочи. Как показали дальнейшие исследования, скорость разложения перекиси водорода оказывает лишь косвенное влияние на скорость растворения германия, изменяя концентрацию свободной перекиси водорода в растворе. [18]
Поэтому будет существовать усиление по току iA / JK равное 1 3 - - 1 7 в зависимости от концентрации окислителя в растворе. Это означает, что скорость растворения германия превышает скорость образования дырок. [19]
Во всех случаях по мере уменьшения концентрации перекиси водорода за счет разложения скорость растворения германия вначале возрастает. Максимум скорости наблюдается всегда в то время, когда разложение перекиси водорода в основном закончилось. При большем времени выдержки скорость растворения германия уменьшается и при очень большом времени выдержки поверхность германия покрывается видимой окисной пленкой. При более высокой температуре или в присутствии большого количества примесей, когда разложение перекиси водорода заканчивается в первые 3 - 5 мин. [20]
Кислород также не является ответственным за реакцию. Были проведены опыты в условиях ускоренного разложения перекиси водорода платинированной платиной. Оказалось, что в отсутствие щелочи это ускоренное разложение почти не влияет на скорость растворения германия. [21]
Влияние начальной концентрации перекиси водорода на скорость растворения германия было изучено в пределах 1 - 7 М при определенной концентрации щелочи. На рис. 2 показана эта зависимость при концентрации едкого натра 1.00 М и температуре 40 С. На этом же рисунке приведены кривые разложения перекиси водорода в этих условиях. С уменьшением концентрации перекиси водорода до некоторого предела скорость растворения германия возрастает. При начальной концентрации перекиси водорода близкой к концентрации щелочи или меньше ее скорость растворения германия резко падает. [22]
Щелочные растворы перекиси водорода применяются для травления германия при изготовлении полупроводниковых приборрв. Однако механизм этой реакции почти не изучен. Некоторые авторы [1] связывают процесс травления германия с атомарным кислородом, выделяющимся при разложении перекиси водорода в щелочной среде. Другие [2] считают, что реакционными частицами в этой среде являются ионы НОГ-В этих работах изучалась лишь зависимость скорости растворения германия от концентрации щелочи и не учитывалось изменение концентрации перекиси водорода во время реакции за счет разложения. [23]
Все кривые, снятые на тонких пластинках, имеют ясно выраженный ток насыщения дырок. При подаче обратного смещения на р - n - переход предельный ток уменьшается из-за сокращения объема полупроводника, в котором генерируются участвующие в реакции дырки. Если сравнить рис. 44, 45, 46 и 47, то окажется, что в случае толстых электродов эффект увеличения скорости растворения германия несравнимо больше. Уже один этот факт показывает, что здесь мы имеем дело с объемными, а не с поверхностными явлениями. [24]
Влияние начальной концентрации перекиси водорода на скорость растворения германия было изучено в пределах 1 - 7 М при определенной концентрации щелочи. На рис. 2 показана эта зависимость при концентрации едкого натра 1.00 М и температуре 40 С. На этом же рисунке приведены кривые разложения перекиси водорода в этих условиях. С уменьшением концентрации перекиси водорода до некоторого предела скорость растворения германия возрастает. При начальной концентрации перекиси водорода близкой к концентрации щелочи или меньше ее скорость растворения германия резко падает. [25]
Влияние начальной концентрации перекиси водорода на скорость растворения германия было изучено в пределах 1 - 7 М при определенной концентрации щелочи. На рис. 2 показана эта зависимость при концентрации едкого натра 1.00 М и температуре 40 С. На этом же рисунке приведены кривые разложения перекиси водорода в этих условиях. С уменьшением концентрации перекиси водорода до некоторого предела скорость растворения германия возрастает. При начальной концентрации перекиси водорода близкой к концентрации щелочи или меньше ее скорость растворения германия резко падает. При этом и скорость растворения германия становится одинаковой для любых исходных концентраций перекиси водорода. [26]