Сверхвысоковакуумный агрегат

Cтраница 1

Сверхвысоковакуумный агрегат РВА-05-2 ( рис. 5.2, г) позволяет создавать предельный вакуум, равный 5 - 10 - 8 мм рт. ст. Агрегат состоит из парортутного насоса Н-5 СР, однорядной ловушки, охлаждаемой жидким азотом, и затвора с металлическим уплотнением, прогреваемого при температуре 400 - 450 С. [1]

Сверхвысоковакуумный агрегат РВА-05-4 ( рис. 5.2, д), позволяющий получать вакуум порядка 10 - 10 мм рт. ст., включает паро-ртутныйнасос H - 5CP - I, последовательно соединенный с парортутным вспомогательным насосом ДРН-50; ловушку, охлаждаемую фреоном; две ловушки, охлаждаемые жидким азотом, и затвор с металлическим уплотнением. Для предварительной дегазации высоковакуумной части агрегата, включающей ловушки, затвор и соединительные патрубки, в агрегате предусмотрен прогрев их при 400 - 450 С. [2]

Диффузионный ртутный насос Б. Ф. Рыбалко и др. is для получения сверхвысокого вакуума. [3]

Сверхвысоковакуумный агрегат РВА-1-3 ( рис. 5.2, е) также позволяет создавать предельный вакуум, равный 10 10 ммрт. [4]

Сверхвысоковакуумный агрегат РВА-05-4 ( рис. 5.2, д), позволяющий получать вакуум порядка 10 10 мм рт. ст., включает паро-ртутныйнасос H - 5CP - I, последовательно соединенный с парортутным вспомогательным насосом ДРН-50; ловушку, охлаждаемую фреоном; две ловушки, охлаждаемые жидким азотом, и затвор с металлическим уплотнением. Для предварительной дегазации высоковакуумной части агрегата, включающей ловушки, затвор и соединительные патрубки, в агрегате предусмотрен прогрев их при 400 - 450 С. Так как насос ДРН-50 обладает выпускным давлением 15 - 20 ммрт. [6]

Диффузионный ртутный насос Б. Ф. Рыбалко и др. 13 для получения сверхвысокого вакуума. [7]

Сверхвысоковакуумный агрегат РВА-1-3 ( рис. 5.2, е) также позволяет создавать предельный вакуум, равный 10 - 10 ммрт. [8]

Схема сверхвысоковакуумного агрегата фирмы Херауэс ( ФРГ. [9]

Фирма Херауэс ( ФРГ) изготовляет сверхвысоковакуумные агрегаты UHV-P с предельным давлением 10 10 мм рт. ст. В одностенных сосудах с металлическим уплотнением давление 10 - 10 мм рт. ст. достигается в течение нескольких часов. Агрегаты снабжены форвакуумным и диффузионным паромасляными насосами с ловушкой, которая может прогреваться до 400 С посредством встроенного нагревателя. Ловушка может охлаждаться водой или хладагентом с помощью одноступенчатой холодильной машины до - 40 С или жидким азотом до-190 С. При охлаждении жидким азотом отражательные поверхности являются одновременно конденсационным насосом для паров и газов. Для нагревания откачиваемого сосуда до 400 С имеется нагревательный колпак. Настольная плита изготовлена из твердого асбеста. Между форвакуумным и диффузионным насосами установлен угловой электромагнитный вентиль, который автоматически закрывается при отключении тока. [10]

Для создания наиболее благоприятных условий эксперимента и хорошей очистки изучаемых поверхностей от адсорбированных газов область испарителя и ионный источник откачивают до остаточного давления примерно 2 6 - 10 7 Па сверхвысоковакуумным агрегатом. Для изучения распределения ионов по энергиям на выходе источника ионов установлены пластины отклоняющего конденсатора. Для анализа энергетического распределения в молекулярном пучке или для селектирования пучка по составу в приборе МС-1303 установлен механический селектор молекул по скоростям. [11]

Время, в течение которого систему нужно откачивать от атмосферного давления, не зависит от масляных диффузионных насосов, а определяется исключительно возможностью длительного прогрева аппаратуры, необходимого для уменьшения газовыделения с внутренних поверхностей откачиваемого сосуда. Ясно, что качество изготовления насоса, чистота и герметичность системы являются необходимыми условиями для получения сверхвысокого вакуума. В табл. 65 приведены основные характеристики отечественных сверхвысоковакуумных агрегатов с диффузионными паромасляными насосами и ловушками, охлаждаемыми жидким азотом. [12]

Страницы: 1