Cтраница 3
Следует отметить, что в начальный период разбурива-ния этих площадей наблюдалась общая тенденция снижения всех показателей с увеличением отклонений. Цикловая скорость при этом изменялась мало и даже несколько повышалась. [31]
На рис. 9, в приведена зависимость цикловой скорости осаждения пленки алюминия от длительности цикла воздействия водородной плазмой при 5-секундном цикле подачи ТМА и 15-секундных циклах продувки реактора аргоном. Зависимость показывает, что цикловая скорость осаждения становится постоянной и равной 0 15 нм / цикл при времени цикла воздействия водородной плазмой более 5 секунд. [32]
На рис. 9, б показана зависимость цикловой скорости осаждения пленки Vd от длительности цикла подачи ТМА в реактор при времени воздействия водородной плазмы 10 секунд и 15-секундных циклах продувки реактора аргоном. Видно, что при времени цикла подачи ТМА более 3 с цикловая скорость переходит в режим постоянства и становится равной 0 15 нм / цикл. Это подтверждает зависимость характеристик процесса ALD от самоограничивающейся хемосорбции молекул ТМА на поверхности подложки. [33]
Цикл подачи хемосорбирующего на поверхности подложки реагента подбирается так, чтобы за его время произошла хемосорбция молекул реагента на всех активных центрах адсорбции поверхности подложки. Показателем правильности выбранной длительности служит независимость толщины получаемой ( наносимой) пленки за цикл осаждения ( цикловой скорости осаждения пленки) от длительности этого цикла. При этом температура осаждения ( температура подложки) должна быть ниже температуры термической диссоциации ( разложения) хемосорбирующего реагента. Например, ТМА начинает термически разлагаться при температуре свыше 350 С. [34]
Она должна обеспечить в данных конкретных условиях максимальную производительность установки: максимальную годовую проходку на I парковую установку или максимальную цикловую скорость строительства скважин при минимальных затратах. [35]
Изменение цикловой скорости от горизонтальных смещений забоев отражает совместное влияние двух тенденций: уменьшения коммерческой скорости, с одной стороны, и сокращения затрат времени на строительно-монтажные работы, с другой. При малых отходах ( а следовательно, малом числе скважин в кусте) цикловая скорость-в большей степени зависит от коммерческой скорости и поэтому снижается. С увеличением же числа скважин в кусте снижение цикловой скорости за счет уменьшения коммерческой скорости компенсируется экономией времени на строительно-монтажные работы, и падение цикловой скорости с увеличением среднего отклонения забоя прекращается. Намечается даже тенденция роста цикловой скорости при увеличении горизонтальных смещений. [36]
Цикловая скорость характеризует использование буровых установок, являющихся основными фондами. Она позволяет определить, сколько буровых установок необходимо иметь буровому предприятию, буровой компании для выполнения планового объема бурения. Общий уровень организации буровых, строительно-монтажных работ особенно четко проясняется при сравнении цикловой скорости, коммерческой и технической скоростей бурения. [37]
Изменение цикловой скорости от горизонтальных смещений забоев отражает совместное влияние двух тенденций: уменьшения коммерческой скорости, с одной стороны, и сокращения затрат времени на строительно-монтажные работы, с другой. При малых отходах ( а следовательно, малом числе скважин в кусте) цикловая скорость-в большей степени зависит от коммерческой скорости и поэтому снижается. С увеличением же числа скважин в кусте снижение цикловой скорости за счет уменьшения коммерческой скорости компенсируется экономией времени на строительно-монтажные работы, и падение цикловой скорости с увеличением среднего отклонения забоя прекращается. Намечается даже тенденция роста цикловой скорости при увеличении горизонтальных смещений. [38]
Изменение цикловой скорости от горизонтальных смещений забоев отражает совместное влияние двух тенденций: уменьшения коммерческой скорости, с одной стороны, и сокращения затрат времени на строительно-монтажные работы, с другой. При малых отходах ( а следовательно, малом числе скважин в кусте) цикловая скорость-в большей степени зависит от коммерческой скорости и поэтому снижается. С увеличением же числа скважин в кусте снижение цикловой скорости за счет уменьшения коммерческой скорости компенсируется экономией времени на строительно-монтажные работы, и падение цикловой скорости с увеличением среднего отклонения забоя прекращается. Намечается даже тенденция роста цикловой скорости при увеличении горизонтальных смещений. [39]