Cтраница 5
Вращательные и диффузионные насосы имеют более или менее постоянную скорость откачки в довольно широкой области давлений. Во вращательных насосах теоретическая скорость откачки подсчиты-вается по геометрическим размерам. В течение одного оборота выталкивается объем V газа, тогда Sn nV, где п - число оборотов в единицу времени. В диффузионных насосах скорость откачки зависит от ряда причин, связанных как с конструкцией насоса, так и со свойствами рабочей жидкости. Однако любой вакуумный насос имеет предельное давление, при котором его скорость откачки падает до нуля. [61]
Принимается, что теоретическая скорость заготовки в данном режиме равна горизонтальной скорости лотка в момент отрыва заготовки от лотка. [62]
Вращательные и диффузионные насосы имеют практически постоянную скорость откачки в довольно широкой области давлений. Для вращательных насосов теоретическая скорость откачки подсчитывается геометрически. В течение одного оборота вала выталкивается объем V газа, тогда SH nV, где п - частота вращения в единицу времени. В диффузионных насосах скорость откачки зависит от конструкции насоса, а также от свойств рабочей жидкости. Однако любой вакуумный насос имеет предельное давление, при котором скорость откачки падает до нуля. [63]