Высокая скорость - травление
Cтраница 1
Высокие скорости травления и селективность по отношению к протравливаемому материалу и покрытию достигаются выбором газа в плазме и энергии ионов. С увеличением отношения Р / С возрастает скорость травления и подавляется полимеризация. Положительную роль здесь играет кислород, в ряде случаев используемый в смеси с фторированными углеводородами. [1]
Это обусловлено высокой скоростью травления молибдена в тех травителях, которые применяются для обработки полупроводникового элемента. Металлизация поверхности термокомпенсирующих прокладок позволяет снизить температуру пайки или сплавления. [2]
Реакция (2.16) обеспечивает высокую скорость травления и вследствие этого возможность использования сравнительно низких температур при проведении процесса. Заметный эффект наблюдается уже при 1373 К, а при 1473 К скорость травления достигает 0 25 мкм / с. Применение сероводорода в промышленных условиях затруднено из-за его токсичности. [3]
 |
Схема установки струйного травления. [4] |
Щелочные растворы на основе хлоритов характеризуются высокой скоростью травления и допустимым содержанием меди в растворе, отсутствием осадка в ванне и на платах, незначительным изменением цвета защитного Sn-Pb покрытия. Однако процесс неустойчив и сопровождается самопроизвольным разложением исходных веществ. Окислитель не поддается регенерации. [5]
 |
Схема одновременного ионного травления и получения оже-спектров при послойном анализе состава поверхности образца. [6] |
Конструкция ионной пушки, в которой разгоняется поток ионов, например Аг, Кг, обеспечивает высокую скорость травления практически без загрязнения поверхности. В сочетании с высокой чувствительностью детектора электронов быстрое травление позволяет профилировать по глубине слой толщиной до 1000 нм в течение нескольких минут. [7]
Для травления и фосфатирования деталей из стали и алюминиевых сплавов используется ортофосфорная кислота. Помимо высокой скорости травления растворы на основе фосфорной кислоты обладают еще тем преимуществом, что, вступая во взаимодействие с поверхностью детали, образуют тонкую, эластичную, прочную пленку фосфатов, повышающую антикоррозионную стойкость изделия. Способность кислоты образовывать активные композиции с различными веществами позволяет совмещать операции обезжиривания, травления и фосфатирования. [8]
Высокая производительность получается при травлении распылением. С поверхностью платы, поскольку раствор поступает из сопла, постоянно соприкасается свежий раствор, что обеспечивает высокую скорость травления. Этот метод является универсальным и обеспечивает травление с высокой разрешающей способностью. [9]
 |
Кривые увеличения прочности при травлении стекол, закаленных в расплав Вуда (. и в жидкость № 4 ( 2.| Зависимость скорости травления закаленного стекла v от глубины стравливаемого слоя. [10] |
Имеющиеся в литературе сведения о влиянии травления плавиковой кислотой на прочность стекла в основном носят эмпирический характер и относятся к отожженным стеклам. В начальный период, при малых глубинах стравленного слоя, скорость травления стекла высокая ( рис. 15), затем она несколько снижается. Высокая скорость травления стекла объясняется его структурными изменениями, а не состоянием поверхности. [11]
Простая травильная машина состоит из прямоугольной камеры с крышкой в верхней части и отстойником в нижней. Раствор откачивается из отстойника и поступает из распыляющего сопла на поверхность платы. Таким образом, с поверхностью постоянно соприкасается свежий раствор. За счет этого поддерживается высокая скорость травления. Равномерность травления зависит от однородности и силы распыленной струи, характера стекания струи и факторов, специфических для каждого типа травителей, а также от рисунка схемы. Для производства особенно подходят двухсторонние травильные машины. [12]
Более пригодным является раствор, полученный растворением 55 г Fe ( NO3) 3 в этиленгликоле, а к 100 мл такого раствора добавляется 25 мл воды. Гомогенизированная смесь, сразу после изготовления помещенная в сосуд коричневого цвета, может храниться в течение недели. Этот метод применять более целесообразно, потому что наблюдение за поверхностью при травлении окунанием затруднительно из-за непрозрачности раствора. Для того, чтобы предотвратить перетравление, при высоких скоростях травления необходимо быстрое промывание водой. Трави-тели, которые, как было указано ранее, предназначены для травления меди и золота, KJ - J2, дают хорошие результаты и при травлении серебра. Погружение образца пленки в травитель на 1 - 3 с, с последующим немедленным промыванием водой обычно вполне успешно позволяет удалять пленки толщиной 1 мкм и менее. [13]
Страницы: 1