Большая скорость - травление
Cтраница 1
Большая скорость травления с минимальными потерями металла обеспечивается при составе травильного раствора: серной кислоты 25 - 30 %, ингибитора ЧМ 0 2 % при температуре 70 - 90а С. [1]
Большая скорость травления характерна для участков, ближе расположенных к переходу, и наибольшая скорость для участков р-типа германия. [3]
В этом случае большие скорости травления наблюдаются при использовании в качестве несущего газа аргона ( рис. 6.3 6), так как водород сдвигает равновесие реакций (6.2) в обратном направлении. Пары воды в концентрации 0 66 % ( объемн. С обеспечивают получение гладкой поверхности германия, скорость травления которого доходит до 0 5 мкм / / мин. [5]
Недостатком этого тра-вителя является большая скорость травления, что затрудняет контроль процесса и определение момента его окончания. [6]
 |
Спектроскопическое сравнение. [7] |
Плискин и Леман [165] предположили, что большая скорость травления и большой сдвиг зоны обусловлен главным образом искажением связей в окисле. Были сделаны попытки определить содержание органических примесей инфракрасными методами, но обнаружить их никому не удалось. [8]
 |
Уплотнение пиролитического SiOj в атмосфере пара. [9] |
Другим свидетельством пористости этих пленок служат более низкие показатели преломления и большие скорости травления. Если концентрация воды достаточно велика, то деформация Н3О - зоны вблизи 1630 см-1 становится заметной. Зона 3400см - 1 с увеличением количества абсорбированной воды также сдвигается к более низким частотам. Пористость пленок наиболее четко проявляется в том, что после термической обработки они уплотняются. [10]
Так, если пересечение плоскостей стабильно вогнутое, это означает, что между ними нет ни одной плоскости с более низкой скоростью травления, а выпуклое пересечение стабильно при отсутствии промежуточных плоскостей с большими скоростями травления. Такие пересечения характерны для фоновой структуры, получающейся при травлении в некоторых травителях ( типа структуры апельсиновой кожуры); террасовидная структура отдельных ямок или бугорков травления является еще одним следствием подобного механизма. [11]
Существуют четыре способа ограничения тока травления на заданном участке поверхности. Первый предусматривает использование электролита, электропроводность которого меньше электропроводности материала, подвергаемого травлению. Это обеспечивает большую скорость травления участков германия, расположенных ближе к катоду. Так как катод можно поместить вблизи р-п перехода, то интенсивность травления перехода будет наибольшая. [12]
Их глубина и размеры зависят от времени и режима травления. Если сторона В - шлифованная, подобные ямки покрывают всю поверхность. Отсутствие дислокационных ямок указывает на большую скорость травления плоскости В по сравнению с А. [13]
Страницы: 1