Слитка - германий
Cтраница 1
Слитки германия и кремния устанавливают в специальные сменные зажимные устройства, которые закрепляют в пазу кристаллодержателя. В одно зажимное устройство вставляют слиток полупроводника и легко его прижимают. Световую фигуру на вертикальную ось шкалы экрана выводят поворотом легко прижатого рукой слитка вокруг оси. Затем слиток окончательно закрепляют, прижимая к базировочной плоскости. Световую фигуру в перекрестие осей шкалы экрана выводят, вращая ручки угломерной головки. Указатель, закрепленный на ручке, показывает на шкале ( лимбе) отклонение кристаллографической плоскости слитка от его геометрической плоскости. Определив отклонение, зажимное устройство освобождают от связей с угломерной головкой, слиток вынимают из паза кристаллодержателя и приклеивают к столику зажимного устройства. [1]
Слитки германия n - типа с заданным удельным сопротивлением, разрезанные на пластины, передают на алмазную и химическую полировку для получения зеркально ровной и чистой поверхности. [2]
Для изготовления полупроводниковых приборов слитки германия распиливаются на пластинки, поверхность которых протравливается для устранения дефектов обработки. [3]
Ввиду того, что на различных слитках германия, соответствующих одной марке, а также в пределах одного и того же слитка обычно имеется большой разброс в величине удельного сопротивления, при исследовании зависимости пробивного напряжения сплавных переходов от удельного сопротивления германия использовался статистический метод обработки результатов. За экспериментальное значение пробивного напряжения, характеризующее заданное удельное сопротивление, принималось значение пробивного напряжения, соответствующее 50 % измеренных переходов по интегральной кривой распределения. [4]
Нижняя кривая показывает, что в слитке германия цо зонной очистки примеси распределены практически равномерно, лишь у правого края их несколько больше. Удельное электрическое сопротивление этого германия примерно 2 ом-см. Верхняя кривая, снятая после шестикратной зонной переплавки исходного германия, весьма убедительно подтверждает эффективность описываемого метода. Действительно, на протяжении половины слитка удельное сопротивление германия возросло примерно в 30 раз, достигнув почти собственного значения. [5]
 |
Схема метода затухания фотопрово димости. [6] |
Этот метод позволяет измерять время жизни неравновесных носителей заряда на слитках германия и кремния в пределах от 3 до 500 мкс. Метод имеет существенные достоинства: он позволяет производить измерения на образцах любой формы и его результаты мало зависят от качества обработки поверхности образца и от присутствия центров прилипания. [7]
 |
Схема метода светового подвижного зонда. [8] |
Метод подвижного светового зонда широко применяется для измерения диффузионной длины носителей заряда в слитках германия. [9]
 |
Структурная схема метода модуляции проводимости. [10] |
Метод модуляции проводимости в точечном контакте позволяет измерять время жизни неосновных носителей заряда т на слитках германия и кремния с удельным сопротивлением 10 1 - 103 Ом - см. Интервал измеряемых с погрешностью до 30 % значений т составляет 3 - 500 мкс. Металлический-зонд, создающий точечный инжектирующий контакт, опускается на плоскую протравленную поверхность ( торец, или измерительная дорожка) слитка полупроводникового материала. Второй контакт осуществляется держателем образца и имеет большую площадь. [11]
Поминал удельного сопротивления выбирают в диапазонах 0 1 - I Ом-см через 0 03 Ом-см, 1 - 10 Ом-см через 0 5 Ом-см, более 10 Ом-см через 1 Ом - см. Слитки мопокристаллического германия по ГОСТ 16153 - 70 и ТУ 48 - 4 - 293 - 82 не должны иметь внешни механических дефектов ( трещин, раковин, сколоч более 3 мм), а также внутренних раковин, обнаруживаемых при резке. [12]
 |
Печь для очистки германия методом зонной плавки. [13] |
При постепенном плавлении слитка наиболее легкоплавкие примеси удаляются из расплавленной зоны, более тугоплавкие остаются. Слитки германия пропускают через ряд печей с зонной плавкой, которые расположены так, чтобы металл затвердевал между кольцами Скорость продвижения слитков не должна превышать нескольких сантиметров в час. Обычно для очистки и получения ультрачистого ( ядерно чистого) металлического германия делаются десятки зонных плавок. [14]
Германий, использующийся в производстве полупроводниковых приборов, подразделяется на марки, отличающиеся легирующими примесями, значением удельного сопротивления и диффузионной длины неосновных носителей заряда. Для изготовления полупроводниковых приборов слитки германия распиливаются на пластинки, поверхность которых протравливается для устранения дефектов обработки. [15]
Страницы: 1 2 3