Cтраница 5
Бели количество отдельных измерений велико ( например, более 200), тогда результат последовательно проводимых измерений группируется в виде условных фигур, что облегчает подсчет частот. [61]
Однако спиральные отклоняющие системы имеют и существенный недостаток, заключающийся в том, что исследуемый сигнал может наблюдаться только в виде фигуры Лиссажу. Анализ чисто синусоидальных процессов, а также синусоидальных колебаний, модулированных по амплитуде или частоте, не очень сложен, по виду и размерам осциллограмм можно однозначно определить характер изменения исследуемого сигнала во времени. Значительно сложнее анализ несинусоидальных высокочастотных сигналов. Анализ ультрадинамических фигур Лиссажу представляет значительные трудности, и вопрос о характере изменения во времени высокочастотного сигнала в ряде случаев вообще не может быть решен однозначно. К недостатку спиральной отклоняющей системы следует отнести также ее сравнительную узкополосность, так как для получения не очень малой чувствительности приходится работать на частотах, близких к резонансным. [62]
В зависимости от типа процессов фотолитографии различают негативный ( темнопольный) фотошаблон, на котором изображение элементов схемы выполнено в виде светлых фигур на темном поле, и позитивный ( светлопольный) фотошаблон с темными элементами на светлом поле. Кроме того, получили распространение зеркальные фотошаблоны с зеркально-симметричным изображением элементов по отношению к топологии структуры и транспарантные, на которых изображение элементов сформировано пленкой материала, не пропускающего актиничного для данного типа фоторезиста излучения, для неактиничного излучения материал практически прозрачен. [63]