Cтраница 1
Совмещаемость - параметр комплекта фотошаблонов, определяющий точность расположения элементов схемы при их последовательном воспроизведении на рабочей подложке. [1]
![]() |
Основные типы полимерных структур.| Разновидности линейных макромолекул.| Примеры некоторых разветвленных структур. [2] |
Фактор совмещаемости тесно связан со строением исходного ароматического компонента, со взаимным расположением в нем различных структурных групп, со степенью симметрии исходного компонента. [3]
Для улучшения совмещаемости фотошаблонов используют многоместные фотоштампы, состоящие из нескольких проекционных оптических систем, объединенных общим координатным столом ( например, установка ЭМ-510), При одновременном изготовлении всех шаблонов комплекта ошибки перемещения стола оказываются одинаковыми для всех фотошаблонов т не влияют на точность совмещения изображений отдельных шаблонов. Однако требование идентичности настройки проекционных систем при этом возрастает. Возрастают также требования к прямолинейности перемещений по осям X и У. [4]
За основное условие совмещаемости можно принять максимальное смещение вывода кристалла за пределы контактной площадки подложки, которое не должно превышать 0 2 диаметра вывода кристалла. [5]
Общепринятым способом контроля совмещаемости шаблонов, входящих в комплект для конкретной БИС, является сравнение изображений слоев рисунка схемы при их оптическом наложении друг на друга. [6]
Многоместные фотоштампы позволяют достичь совмещаемости комплекта фотошаблонов 1 мкм и заметно повысить производительность процесса мультипликации. [7]
Одним из факторов, ухудшающих совмещаемость фотошаблонов, изготовленных на многоместных фотоштампах, является непрямолинейность направляющих стола, которая обусловливает различные линейные смещения и развороты изображений в разных позициях фотоштампа. При использовании аэростатических направляющих достигается прямолинейность хода кареток не хуже 0 1 мкм. Другим фактором ( как и в одноместном фотоштампе) является погрешность базирования изображения оригинала относительно направления перемещения в каждой позиции фотоштампа. Разворот изображений, одинаковый в пределах одного фотошаблона, оказывается различным в различных фотошаблонах комплекта, что и ухудшает их совмещаемость. [8]
![]() |
Распределение деталей узла по сочетанию функций. [9] |
Разумеется, при этом принимается во внимание конструктивная и технологическая совмещаемость. [10]
![]() |
Принципиальная схема од - Эта пластина механически нопозяционного фотоповторителя. [11] |
Для повышения производительности процесса мультипликации и повышения совмещаемости комплекта фотошаблонов используются М ногопозиционные фотоповторители. [12]
При выборе пластификатора следует учитывать его физические свойства, совмещаемость с полимером, стойкость к атмосферным воздействиям, стоимость, цвет и запах, токсичность и огнестойкость. [13]
Во всех приведенных случаях изменение температуры может либо увеличивать, либо уменьшать совмещаемость. [14]
Определяют содержание сухого полиэфира в полученном лаке и время гелеобразования, а также совмещаемость его с мочевино-формальде-гидным полимером, модифицированным бутиловым спиртом. [15]