Любой вид - механическая обработка
Cтраница 1
 |
Погрешности форм пластин. [1] |
Любой вид механической обработки ( резание, шлифование, полирование) связан с повреждением поверхностного слоя полупроводниковой пластины. Под нарушенным слоем подразумевают приповерхностную область полупроводникового материала, имеющую механические нарушения. Ниже нарушенного слоя находится неповрежденный монокристаллический материал. Нарушенный слой влияет на параметры готовых микросхем и на проведение различных технологических операций ( диффузию, эпитаксию, окисление и др.), поэтому он должен быть удален или сведен до минимума. Точность механической обработки полупроводников также существенно влияет на последующие технологические операции изготовления микросхем. [2]
Любой вид механической обработки вызывает появление остаточных напряжений. Даже при тщательно выполненной полировке создается тончайший упрочненный слой. Так, для стали ЗОХГСНА точение и полировка шкуркой дают остаточные напряжения на поверхности в 89 - 102 кгс / мм2, шлифовка и затем стабилизирующий отпуск ( 270 С в течение 3 ч) 63 - 68 кгс / мм2, сухая пескоструйка 1116 - 139 кгс / мм2, шлифовка, стабилизирующий отпуск и наклеп дробью 92 - 116 KBC / MMZ. Остаточные напряжения в слое при различных видах обработки образцов из стали ЭИ617 распределяются на толщину:, полирование фибровым кругом 50 мкм, обдувка дробью 200 мкм, обработка тупой фрезой 200 мкм, декоративное шлифование 200 мкм. [3]
Применяя любой вид механической обработки, необходимо стремиться снять возможно более тонкий слой покрытий. После механической обработки производят удаление остатков абразива из пор покрытия промыванием в керосине, бензине, содовом растворе или водных эмульсиях и продуванием сжатым воздухом или паром. [4]
При любом виде механической обработки вследствие низкой теплопроводности пластмасс режущий инструмент сильно нагревается. Поэтому при снятии детали и смене инструмента следует оберегать руки от ожога. Охлаждать инструмент нужно сжатым воздухом. [5]
При любом виде механической обработки желательно снятие как можно более тонкого слоя покрытия. После механической обработки остатки абразива из пор покрытия удаляют промыванием в керосине, бензине, содовых растворах или продуванием сжатым воздухом. [6]
При любом виде механической обработки вследствие низкой теплопроводности пластмасс режущий инструмент сильно нагревается. Поэтому при снятии детали и смене инструмента следует оберегать руки от ожогов. Охлаждать инструмент нужно сжатым воздухом. [7]
Цирконий в чистом состоянии поддается любым видам механической обработки. [8]
Изделия из полистирола можно подвергать любым видам механической обработки, но резание следует проводить при малых скоростях подачи и с охлаждением изделия. В противном случае пограничные слои становятся вязкими, затрудняя обработку, а концентрация тепла у поверхности среза вызывает в них внутреннее напряжение, приводящее к растрескиванию. [9]
Изделия из полистирола можно подвергать любым видам механической обработки, но резание следует проводить при малых скоростях подачи и с охлаждением изделия. В противном случае пограничные слои становятся вязкими, затрудняя обработку, а концентрация тепла у поверхности среза вызывает в них внутреннее напряжение, приводящее к растрескиванию. [10]
При любом виде механической обработки материалов происходит упругая и пластическая деформация поверхностных слоев. В результате этого интенсивно перемещаются дислокации, образуются новые структуры, идет разрушение зерен и переориентация их в направлении действующих сил, развиваемых обрабатываемым инструментом. Изменение структуры поверхностного слоя и остаточные упругие напряжения приводят к возникновению вблизи поверхности остаточных зон сжатия и растяжения, закрытию и развитию межкристаллических областей с образованием микропор. [11]
Нагрев до 400 С вызывает разложение материала, при температуре - 190 С не делается хрупким, но дает остаточную деформацию под нагрузкой; дугостоек. Опрес-сованные заготовки поддаются любому виду механической обработки. [12]
Получается прочное, стойкое и легкое покрытие, которое можно подвергать любым видам механической обработки и декоративной отделки. Стеклопластик, который может имитировать разные материалы, применяют при изготовлении демонстрационных макетов и опытных образцов изделий. [13]
Обрабатываемость циркония, подобно обрабатываемости титана, в значительной мере зависит от чистоты металла. Йодидный цирконий обрабатывается заметно легче, чем магниетермическии, так как даже небольшие примеси ( О2, N2, С) ухудшают обрабатываемость циркония. Сплавы циркония обрабатываются труднее, чем чистый металл. Последний поддается любым видам механической обработки. [14]
Страницы: 1