Cтраница 5
Рассмотрим указанные методы регулирования. Может быть применено последовательное соединение насосов, параллельное и смешанное. [61]
Камера осаждения является сверхвысоковакуумной и откачивается через ловушки 10 и /), охлаждаемые соответственно жидким азотом и водой. Камера испарения откачивается через ловушку 14, охлаждаемую водой. Форвакуумная магистраль диффузионного насоса 9 соединена с входом насоса 12, и таким образом осуществляется последовательное соединение насосов. [62]
Так, при комнатной t и достаточном напоре воды получается вакуум порядка 20 - 15 мм Hg, к-рый удается, конденсируя водяной пар, повысить до 10 и даже 5мм Hg. Практически масляные насосы дают легко разрежение около ОД-001 мм и в этом случае они вполне пригодны как насосы предварительного разрежения для получения форвакуума для других насосов, дающих более совершенное разрежение. При применении двойных и тройных насосов, как они строятся различными фирмами, и в практич. Улучшение их работы происходит в этом случае потому, что при последовательном соединении насосов второй и третий насосы выталкивают откаченный воздух не в атмосферу, а в форвакуум, созданный работою предшествующего насоса. [63]