Сополимер - глицидилметакрилат
Cтраница 1
 |
Зависимость О ( х от состава со - 20 60 100. [1] |
Сополимер глицидилметакрилата или глицидилакрилата с бутадиеном содержит как эпоксигруппу, так и двойные связи. При определении чувствительности к ионизирующему излучению было установлено, что зависимость G ( X) от состава полимера имеет максимум при содержании в сополимере 25 % ( мол. [2]
 |
Чувствительность резистов к электронному ( 20 кВ и рентгеновскому излучению. [3] |
ЭПБ; 2 - сополимер глицидилметакрилата с этил-акрилатом; 3 - полиглицидилметакрилат; 4 - поли-1 - бутен-сульфон; 5 - поли-2 2 3 3-тетрафторпропилмет-акрилат ( FBM-D), 6 - сополимер метилметакрилата с метакрпловой кислотой; 7 - ПММА. [4]
 |
Образование ПМ для ИХТ при введении Оа3 в толстый слой чувствительного резиста. [5] |
ПДХПА в смеси с сополимером глицидилметакрилата с этилакри-латом, а также с N-винилкарбазолом и политетрафторпропилмет-акрилатом при толщине слоя 0 2 мкм требует для экспонирования дозу около 10 Дж / см2 [6], что при использовании МСР обеспечивает достаточное AR. [6]
Привитые сополимеры тетрагидрофурана были получены при взаимодействии его с сополимерами глицидилметакрилата и винильных соединений ( стирола, метилметакрилата, хлористого винила и акрилонитрила) в присутствии эфирата фтористого бора. Следует заметить, что в этом случае образуется виниловый полимер в основной цепи с боковыми политетрагидрофурановыми цепями. [7]
WO 82 / 01847 в качестве негативного рентгеноре-зиста с отличной разрешающей способностью описана смесь поли-2 3-дихлор - 1-пропилакрилата с сополимером глицидилметакрилата с этилакрилатом. [8]
 |
Зависимость размеров элементов микрорельефа от его толщины для не. [9] |
Как видно из данных табл. VII. Наиболее подробно изучены литографические свойства сополимера глицидилметакрилата с 3-хлорстиролом. [10]
Более подходят для полимеризации с раскрытием цикла кислоты Льюиса, особенно эфират трехфтористого бора, но можно применять и другие катализаторы, например, триалкилы алюминия. В случае использования в качестве стабилизаторов сополимеров глицидилметакрилата особенно пригодным катализатором оказался эфират трехфтористого бора, так как с ним эти сополимеры легко образуют розовые комплексы, в которых соотношение бор. Это обстоятельство представляет определенное преимущество, поскольку позволяет получать полностью гомогенную каталитическую систему в алифатических углеводородных растворителях. [11]
Зависимость разрешающей способности резиста от толщины слоя рельефа после проявления приведена на рис. VII. Разрешающая способность этого резиста выше, чем у СОР, значительно выше и стойкость к плазменному травлению, поэтому сополимер глицидилметакрилата с 3-хлорстиролом пригоден для непосредственного экспонирования на кремниевых подложках. [12]
Однако он имеет низкую адгезию, недостаточную для использования в литографии. Известны и другие композиции на основе ПДХПА. Наибольший интерес представляют смеси ПДХПА с сополимерами глицидилметакрилата с этилакрилатом, аллилметакрилата с гид-роксиэтилметакрилатом. Подробно изучена в качестве рентгеноре-зиста смесь 92 5 % ПДХПА и 7 5 % бис ( акрилоилксибутилтетра-метилдисилоксана) [134], который проявляется плазмой. Выявлено существенное влияние термического доотверждения слоя резиста на разрешение и чувствительность. [13]
 |
Чувствительность резистов к электронно - - му ( 20 кВ и рентгеновскому излучению. Ю. [14] |
Однако он имеет низкую адгезию, недостаточную для использования в литографии. Рентгеновское поглощение атомов хлора лежит вблизи 0 44 нм, что соответствует излучению линии La палладия - 0 437 нм, в большинстве случаев используемой в экспозиционных устройствах [ пат. Известны и другие композиции на основе ПДХПА. Наибольший интерес представляют смеси ПДХПА с сополимерами глицидилметакрилата с этилакрилатом, аллилметакрилата с гид-роксиэтилметакрилатом. Подробно изучена в качестве рентгеноре-зиста смесь 92 5 % ПДХПА и 7 5 % бис ( акрилоилксибутилтетра-метилдисилоксана) [134], который проявляется плазмой. Выявлено существенное влияние термического доотверждения слоя резиста на разрешение и чувствительность. [15]
Страницы: 1