Cтраница 2
США 4153741 ] относится возникновение механических дефектов в слое толщиной более 0 3 мкм в процессе проявления резиста, нанесенного на хромовую подложку. Это зависит от качества подложки, способа нанесения слоя, температуры термообработки и характеристик резиста. Введением в полимер подходящих пластификаторов можно подавить возникновение механических дефектов и получить слои толщиной до 0 6 мкм, однако присутствие пластификаторов оказывает отрицательное влияние на разрешающую способность и чувствительность резиста. Другим путем является введение в полимер, например полученный из а-олефина и S02, циклопентена, звеньев бициклопентена или метилметакрилата. [16]