Cтраница 1
Разрешающая способность оптических методов достаточно велика, они позволяют получать качественные и количественные данные о стационарных и нестационарных процессах теплообмена и массообмена в оптически прозрачных средах, где показатель преломления света по каким-либо причинам меняется. Поэтому область возможных приложений интерференционных и теневых методов весьма разнообразна: они применяются при контроле и регулировании течения прозрачных однофазных газообразных и жидких сред, многофазных сред, смесей газов, жидкостей и твердых тел на основе пространственно-временных изменений полей плотности среды. [1]
Длина световых волн значительно меньше, например, ультразвуковых, откуда и следует большая разрешающая способность оптических методов. [2]
После прохождения сквозь поглощающую среду излучение поступает в детектор, вырабатывающий электрический сигнал, пропорциональный мощности элеиромаг-нитного излучения, падающего на детектор. После усиления этот сигнал наблюдается на экране осциллографа или регистрируется измерительным прибором. Для радиоспектроскопических методов характерна весьма высокая разрешающая способность, в сотни тысяч раз превышающая разрешающую способность оптических методов. Методом поглощения исследуются вещества в газообразном и конденсированных ( твердом или жидком) состояниях. При исследованиях поглощения в газах генератор должен давать излучение в диапазоне миллиметровых и сантиметровых волн, соответствующее избирательному поглощению газов при низких давлениях. В конденсированных средах метод радиоспектроскопии широко применяется для определения характера химических связей. При этом, однако, приходится учитывать, что определенные таким методом магнитные моменты взаимодействующих друг с другом частиц вещества могут существенно отличаться от магнитных момейтов для свободных частиц. Это сильно затрудняет интерпретацию резонансных пиков поглощения в конденсированных средах. [3]
Развитие технологии электронной промышленности ускорило развитие техники защитных материалов и вызвало появление целого ряда органических светочувствительных материалов ( фоторезистов), которые в настоящее время обеспечивают основные потребности этих технологических процессов. Сложность разработки фоторезистов заключалась в том, что они появлялись параллельно с разработкой процессов контактной фотолитографии. Поэтому требования, которые к ним предъявлялись, зачастую гипотетические и завышенные, уточнялись в процессе набора статистических данных и оптимизации самих технологических процессов. Долгое время в практике фотолитографии бытовало мнение, что разрешающая способность оптического метода целиком определяется разрешающей способностью фоторезиста. Однако последние исследования оптических явлений в контактной системе фотолитографии показали, что разрешающая способность метода определяется такими моментами, как дифракция, отражение, интерференция, и находится на более низком уровне, чем разрешающая способность материала. Действительно, в отличие от галогеносеребряных эмульсий, где разрешение определяется в основном зернистой структурой материала и эффектами рассеяния и дифракции на зернах, в случае фоторезистов мы имеем дело с монолитными полимерными пленками, где рассеяние света является статистически случайным фактором ( пыль, посторонние включения) и где фотохимический процесс происходит на уровне полимерных молекул, размеры которых колеблются в пределах 10 - 1000 ям. Естественно, что молекулярная масса полимеров, входящих в состав фоторезистов, после определенного предела будет сказываться на разрешающей способности материала, особенно в случае негативных фоторезистов, где в процессе проявления может происходить набухание экспонированных участков и соединение между собой близко расположенных элементов. Поэтому при разработке фоторезистов много внимания было уделено свойствам исходных полимерных материалов, их молекулярной массе, распределению по молекулярным весам, наличию определенных функциональных групп, определяющих оптимальную светочувствительность фоторезистов и минимальную степень набухания при проявлении. [4]
Из приведенных соотношений видно, что разрешающая способность пропорциональна X для проекционного способа и Х 5 для контактного способа. Очевидно, для оптического диапазона ( X да 0 2 - т - 0 8 мкм) разрешение не может превышать 0 2 мкм. Это ограничение оптического метода экспонирования может быть преодолено лишь при переходе в более коротковолновый, например рентгеновский, диапазон электромагнитного излучения, где X л; х 0 5 - 5 нм. Однако реальные оптические системы, реальные условия формирования микроизображения не позволяет достичь и этих предельных значений и в настоящее время предельная разрешающая способность оптических методов не превышает 0 5 - 0 8 мкм, а хорошо освоенные и широко используемые процессы и системы обеспечивают разрешающую способность 1 - 1 5 мкм. Кроме длины волны излучения и другие параметры ограничивают реальную разрешающую способность оптических методов и часто определяют возможность использования того или иного метода на практике. [5]
Из приведенных соотношений видно, что разрешающая способность пропорциональна К для проекционного способа и К0 5 для контактного способа. Очевидно, для оптического диапазона ( Я 0 2 - f - 0 8 мкм) разрешение не может превышать 0 2 мкм. Это ограничение оптического метода экспонирования может быть преодолено лишь при переходе в более коротковолновый, например рентгеновский, диапазон электромагнитного излучения, где К 0 5 - 5 нм. Однако реальные оптические системы, реальные условия формирования микроизображения не позволяет достичь и этих предельных значений и в настоящее время предельная разрешающая способность оптических методов не превышает 0 5 - 0 8 мкм, а хорошо освоенные и широко используемые процессы и системы обеспечивают разрешающую способность 1 - 1 5 мкм. Кроме длины волны излучения и другие параметры ограничивают реальную разрешающую способность оптических методов и часто определяют возможность использования того или иного метода на практике. [6]
Из приведенных соотношений видно, что разрешающая способность пропорциональна К для проекционного способа и К0 5 для контактного способа. Очевидно, для оптического диапазона ( Я 0 2 - f - 0 8 мкм) разрешение не может превышать 0 2 мкм. Это ограничение оптического метода экспонирования может быть преодолено лишь при переходе в более коротковолновый, например рентгеновский, диапазон электромагнитного излучения, где К 0 5 - 5 нм. Однако реальные оптические системы, реальные условия формирования микроизображения не позволяет достичь и этих предельных значений и в настоящее время предельная разрешающая способность оптических методов не превышает 0 5 - 0 8 мкм, а хорошо освоенные и широко используемые процессы и системы обеспечивают разрешающую способность 1 - 1 5 мкм. Кроме длины волны излучения и другие параметры ограничивают реальную разрешающую способность оптических методов и часто определяют возможность использования того или иного метода на практике. [7]
Из приведенных соотношений видно, что разрешающая способность пропорциональна X для проекционного способа и Х 5 для контактного способа. Очевидно, для оптического диапазона ( X да 0 2 - т - 0 8 мкм) разрешение не может превышать 0 2 мкм. Это ограничение оптического метода экспонирования может быть преодолено лишь при переходе в более коротковолновый, например рентгеновский, диапазон электромагнитного излучения, где X л; х 0 5 - 5 нм. Однако реальные оптические системы, реальные условия формирования микроизображения не позволяет достичь и этих предельных значений и в настоящее время предельная разрешающая способность оптических методов не превышает 0 5 - 0 8 мкм, а хорошо освоенные и широко используемые процессы и системы обеспечивают разрешающую способность 1 - 1 5 мкм. Кроме длины волны излучения и другие параметры ограничивают реальную разрешающую способность оптических методов и часто определяют возможность использования того или иного метода на практике. [8]
Иссяедование поглощения веществом электромагнитного излучения радиодиапазона составляет содержание так называемой радиоспектроскопии, которая позволяет раскрыть многие тонкие особенности строения вещества. Принципиальная схема радиоспектроскопических исследований сострит в следующем, От генератора электромагнитных волн излучение поступает в волновод, частично заполненный исследуемым веществом. Волновод представляет собой канал для передачи энергии электромагнитного поля, ограниченный боковой поверхностью ( или поверхностями) определенной формы. В простейшем случае волновод имеет вид металлической трубки круглого или прямоугольного сечения. После прохождения сквозь поглощающую среду излучение поступаете детектор, вырабатывающий электрический сигнал, пропорциональный мощности электромагнитного излучения, падающего на детектор. После усиления этот сигнал наблюдается на экране, осциллографа или регистрируется измерительным прибором. Для радиоспектросколических методов характерна весьма высокая разрешающая способность, в сотни тысяч раз превышающая разрешающую способность оптических методов. Методом поглощения исследуются вещества в газообразном и в конденсированных ( твердом или жидком) состояниях. При исследованиях поглощения в газах генератор должен давать излучение в диапазоне миллиметровых и сантиметровых волн, соответствующее избирательному поглощению газов при низких давлениях. В конденсированных средах метод радиоспектроскопии широко применяется для определения характера химических связей в веществе. [9]
Исследование поглощения веществом электромагнитного излучения радиодиапазона составляет содержание так называемой радиоспектроскопии, которая позволяет раскрыть многие тонкие особенности строения вещества. Принципиальная схема радиоспектроскопических исследований состоит в следующем. От генератора электромагнитных волн излучение поступает в волновод, частично заполненный исследуемым веществом. Волновод представляет собой канал для передали энергии электромагнитного поля, ограниченный боковой поверхностью ( или поверхностями) определенной формы. В простейшем случае волновод имеет вид металлической трубки круглого или прямоугольного сечения. После прохождения сквозь поглощающую среду излучение поступает в детектор, вырабатывающий электрический сигнал, пропорциональный мощности электромагнитного излучения, падающего на детектор. После усиления этот сигнал наблюдается на экране осциллографа или регистрируется измерительным прибором. Для радиоспектроскопических методов характерна весьма высокая разрешающая способность, в сотни тысяч раз превышающая разрешающую способность оптических методов. Методом поглощения исследуются вещества в газообразном и в конденсированных ( твердом или жидком) состояниях. При исследованиях поглощения в газах генератор должен давать излучение в диапазоне миллиметровых и сантиметровых волн, соответствующее избирательному поглощению газов при низких давлениях. В конденсированных средах метод радиоспектроскопии широко применяется для определения характера химических связей в веществе. При этом, однако, приходится учитывать, что определенные таким методом магнитные моменты взаимодействующих друг с другом частиц вещества могут существенно отличаться от значений магнитных моментов для свободных частиц. Это сильно затрудняет интерпретацию резонансных пиков поглощения в конденсированных средах. [10]
Исследование поглощения веществом электромагнитного излучения радиодиапазона составляет содержание так называемой радиоспектроскопии, которая позволяет раскрыть многие тонкие особенности строения вещества. Принципиальная схема радиоспектроскопических исследований состоит в следующем. От генератора электромагнитных волн излучение поступает в волновод, частично заполненный исследуемым веществом. Волновод представляет собой канал для передачи энергии электромагнитного поля, ограниченный боковой поверхностью ( или поверхностями) определенной формы. В простейшем случае волновод имеет вид металлической трубки круглого или прямоугольного сечения. После прохождения сквозь поглощающую среду излучение поступает в детектор, вырабатывающий электрический сигнал, пропорциональный мощности электромагнитного излучения, падающего на детектор. После усиления этот сигнал наблюдается на экране осциллографа или регистрируется измерительным прибором. Для радиоспектроскопических методов характерна весьма высокая разрешающая способность, в сотни тысяч раз превышающая разрешающую способность оптических методов. Методом поглощения исследуются вещества в газообразном и в конденсированных ( твердом или жидком) состояниях. При исследованиях поглощения в газах генератор должен давать излучение в диапазоне миллиметровых и сантиметровых волн, соответствующее избирательному поглощению газов при низких давлениях. В конденсированных средах метод радиоспектроскопии широко применяется для определения характера химических связей в веществе. [11]