Cтраница 3
Одним из таких примеров было рассмотренное в предыдущем параграфе явление просветления оптики. Кроме того, без представлений волновой оптики невозможно иметь суждение о разрешающей способности оптической системы и давать точную оценку качества изображения, в том числе глубины изображения, которая при геометрической трактовке существенным образом занижается. [31]
Метрологические испытания оптических систем производятся с помощью специальных устройств. Часто в типовых случаях применяется мира-испытательная оптическая таблица - или тест-образец, позволяющий определять разрешающую способность оптических систем. Мира представляет собой пластину или лист бумаги, на которые нанесены прозрачные ( белые) или непрозрачные ( черные) параллельные или радиальные штрихи различной частоты, обеспечивающие определенное число линий на 1 мм. [32]
Принципы растровых методов тесно связаны с вопросами объема информации изображения. На снимке, полученном одним из обычных методов, содержащаяся в кадре информация ограничена разрешающей способностью аппаратуры. Последняя складывается из разрешающей способности оптической системы и свойств фотоматериала, главным образом его чувствительности и зернистости. Оценка разрешающей способности с помощью испытательной таблицы приводит к определению элемента изображения как минимального участка кадра, имеющего постоянный объем информации. [33]
Был разработан бинокулярный микроскоп со сдвоенной оптической системой, который позволяет одновременно наблюдать различные участки поверхности. Правильное совмещение маски достигается проверкой совмещения рисунка при большом увеличении в двух достаточно удаленных друг от друга точках подложки, которые должны совпадать. Точность совмещения ограничена разрешающей способностью оптической системы. Во избежание во время операции совмещения непроизвольного экспонирования необходимо иметь отдельный второй источник света, в котором не было коротковолнового излучения; при наличии последнего должен быть установлен соответствующий светофильтр. Особые затруднения возникают, когда используются фотошаблоны с плотным слоем позитивного фоторезиста, Чтобы заменить ранее вытравленные рисунки, надо рассматривать всю поверхность подложки достаточно продолжительное время, а это затруднительно. В этом случае для совмещения комплекта на всех фотошаблонах необходимо предусматривать специальные знаки. [34]
Рост капли прослеживался от кадра к кадру последовательно до момента соприкосновения или слияния с соседними каплями, после чего происходило скачкообразное увеличение размера. Обнаружение мо: Мен-та слияния иногда было затруднено ввиду большой частоты слияний. Очевидно, не могли быть зафиксированы слияния с более мелкими каплями, размеры которых находились за пределами разрешающей способности оптической системы. [35]
Простое качественное объяснение этого эффекта следующее: каждый элемент бли-кующей поверхности представляет собой пятно, которое глаз человека или оптическая система может разрешить. Так как это пятно значительно больше длины волны излучения, то излучение, отраженное объектом, состоит из волн, имеющих случайную разность фаз. Интерферируя между собой, эти волны создают суммарную интенсивность, значение которой может меняться от нулевого до некоторого максимального предела. Различные разрешаемые области ( пятна) характеризуются различной яркостью, что и определяет эффект бликования. На картину распределения бликов влияет не только структура поверхности изделия, но и разрешающая способность оптической системы; так, увеличение разрешающей способности ведет к уменьшению видимого диаметра пятна бликов. [36]
Свойства испускаемого лазером когерентного излучения при некоторых обстоятельствах могут быть использованы непосредственно для осуществления контроля. Одно из характерных свойств лазерного света заклкх чается в том, что при его рассеянии объектом поверхность кажется покрытой бликами - мелкими светлыми и темными областями, которые смещаются изменением точки наблюдения. Простое качественное объяснение этого эффекта следующее: каждый элемент бликующей поверхности представляет собой пятно, которое глаз человека или оптическая система может разрешить. Так как это пятно значительно больше длины волны излучения, то излучение, отраженное объектом, состоит из волн, имеющих случайную разность фаз. Интерферируя между собой, эти волны создают суммарную интенсивность, значение которой может меняться от нулевого до некоторого максимального предела. Различные разрешаемые области ( пятна) характеризуются различной яркостью, что и определяет эффект бликования. На картину распределения бликов влияет не только структура поверхности изделия, но и разрешающая способность оптической системы; так, увеличение разрешающей способности ведет к уменьшению видимого диаметра пятна бликов. [37]