Cтраница 2
Большое значение приобретают линейные ускорители в медицине при радиотерапии некоторых заболеваний. Как известно, под действием радиации в тканях образуются ионы, и при значительных дозах происходит процесс разрушения тканей. Однако чувствительность к излучению у тканей злокачественных опухолей значительно выше, чем у нормальных тканей, что приводит к более быстрому разрушению больных тканей. Кроме у-квантов для лечения могут быть использованы и быстрые электроны. Ионизирующая способность электронов значительно больше, чем у-квантов той же энергии, а проникающая способность электронов меньше, поэтому облучение опухолей электронами оказывается более предпочтительным, так как здоровые ткани затрагиваются меньше. Специальные головки, устанавливаемые на выходе ускорителя, управляют электронным лучом, направляя излучение на объект под любым углом, что позволяет облучить больного с разных сторон и уменьшить повреждение здоровых тканей. [16]
В распылительных установках мишень представляет собой твердый образец, с поверхности которого под действием бомбардировки энергетическими частицами испускаются атомы или кластеры. Испускаемые мишенью атомы налетают на поверхность подложки и осаждаются на ней, образуя пленку. Для бомбардировки используются обычно положительные ионы благородных газов; сам процесс носит название катодного распыления. Ионы образуются в специально сформированной плазме, аналогичной плазме тлеющего разряда, возникающей в газе низкого давления, находящемся между двумя электродами. В последние два десятилетия в технологии катодного распыления достигнуты значительные успехи. Путем наложения магнитного поля специальной конфигурации удалось увеличить эффективность ионизации инертного газа вторичными электронами ( магнетронные источники), повысить ионизирующую способность электронов ( триекшые катодные источники), были также разработаны специальные источники для ионной бомбардировки. Появление этих новых типов источников привело к увеличению скорости осаждения ц чистоты наносимых слоев. [17]