Cтраница 2
Сплав должен обладать высокой окалиностойкостъю. Для реостатного сплава, проволока из которого не нагревается выше 300 - 500 С, зто свойство не имеет существенного значения. Для нагревательных элементов печей и приборов, рабочая температура которых значительно выше, окалино-стойкость сплава определяет срок службы нагревательного элемента. [16]
Сплав должен обладать высокой окалиностойкостью. Для реостатного сплава, проволока из которого не нагревается выше 300 - 500, это свойство не имеет существенного значения. Для нагревательных элементов печей и приборов, рабочая температура которых значительно выше, окалиностой-кость сплава определяет срок службы нагревательного элемента. [17]
![]() |
И. Изменение электросопротивления железа и нихрома при повышении температуры.| Электрические свойства медпошжслевых сплавов. [18] |
Сплав должен обладать высокой окалиностойкостыо. Для реостатного сплава, проволока из которого не нагревается выше 300 - 500 С, это свойство не имеет существенного значения. Для нагревательных элементов печей и приборов, рабочая температура которых значительно выше, окалиностойкость сплава определяет срок службы нагревательного элемента. [19]
Сплав должен обладать высокой окалиностойкостью. Для реостатного сплава, проволока из которого не нагревается выше 300 - 500СС, это свойство не имеет существенного значения. Для нагревательных элементов печей и приборов, рабочая температура которых значительно выше, окалино-стойкость сплава определяет срок службы нагревательного элемента. [20]
Другая проблема, свойственная ВЧ системам распыления, состоит в том, что без специальной проверки заземление блока держателя подложек нельзя считать надежным. Цепь, являющаяся короткозамкнутой по постоянному току, может иметь значительный импеданс на высокой частоте. Если блок держателя подложек должным образом не заземлен, то на поверхности составляющих его деталей появится нежелательный ВЧ потенциал, который может существенно повлиять, например, на срок службы нагревательных элементов, входящих в этот блок. Наконец, можно отметить, что в высокочастотных системах ( особенно когда мишень является диэлектриком) необходимо охлаждать катодный узел. [21]
![]() |
Печь для отжига молибденовой ленты. [22] |
Холодильник служит для охлаждения отожженных деталей и представляет собой сварную трубу в форме арки, окруженной цилиндрической трубой. В последнюю подается проточная вода. Выходное отверстие холодильника также закрыто дверцей 8 с герметизирующими прокладками. Внутрь корпуса камеры нагрева подается водород для увеличения срока службы нагревательного элемента. В рабочую камеру печи водород поступает через отверстие в конце холодильника, проходит по внутреннему каналу алундового муфеля, загрузочному каналу и поджигается в конце его. Во избежание попадания наружного воздуха в рабочую камеру печи отверстия загрузочной камеры и холодильника снабжены водородными заслонками, которые при откры - - вании дверцы создают водородную завесу. Для поджигания выходящего водорода предусмотрены свечи, питание к которым подается либо от коллектора 9 водорода, либо от коллектора 10 водяного газа. Предусмотрена возможность продувки печи азотом через кран 11, что необходимо при пуске печи или после перерыва в работе. Заданная температура в рабочей камере печи поддерживается автоматически с помощью терморегуляторов. [23]
![]() |
Печь для отжига молибденовой ленты. [24] |
Холодильник служит для охлаждения отожженных деталей и представляет собой сварную трубу в форме арки, окруженной цилиндрической трубой. В последнюю подается проточная вода. Выходное отверстие холодильника также закрыто дверцей 8 с герметизирующими прокладками. Внутрь корпуса камеры нагрева подается водород для увеличения срока службы нагревательного элемента. В рабочую камеру печи водород поступает через отверстие в конце холодильника, проходит по внутреннему каналу алундового муфеля, загрузочному каналу и поджигается в конце его. Во избежание попадания наружного воздуха в рабочую камеру печи отверстия загрузочной камеры и холодильника снабжены водородными заслонками, которые при открывании дверцы создают водородную завесу. Для поджигания выходящего водорода предусмотрены свечи, питание к которым подается либо от коллектора 9 водорода, либо от коллектора 10 водяного газа. Предусмотрена возможность продувки печи азотом через кран И, что необходимо при пуске печи или после перерыва в работе. Заданная температура в рабочей камере печи поддерживается автоматически с помощью терморегуляторов. [25]