Актиничное излучение

Cтраница 2

Фотошаблон - стеклянная или иная пластина, либо полимерная пленка со сформированным на ее поверхности рисунком элементов схем из материала, не пропускающего актиничное излучение. [16]

Заготоека для фотошаблона - стеклянная или другая прозрачная для актиничного излучения плоскопараллельная пластина определенных размеров со сформированным на ее поверхности сплошным непрозрачным для актиничного излучения слоем. [17]

Картина дифракции сложнополяризованного объекта на решетке анизотропного профиля ( неоднородный по сечению кристалл рубина. В центре - недифрагированный, нулевой порядок, ослабленный нейтральным фильтром. Слева и справа от него - дифракционные изображения соответственно 1-го и - 1-го порядков. Взаимно дополнительный по интенсивности характер этих изображений иллюстрирует распределение право - и левоциркулнрно поляризующих участков сечения кристалла. [18]

Количеств, описание индуцированных в среде анизотропии в зависимости от энергия и состояния поляризации излучения, воздействующего на среду в процессе записи, показывает, что под действием актиничного излучения эллиптич. При этом в трех ее сечениях в направлении воздействия актпничного излучения и в перпендикулярных направлениях комплексный коэф. [19]

Спектры поглощения хлорцинковых солей светочувствительных диазосоединений. [20]

Сопоставляя спектры поглощения диазосоединений и представленный на рис. 4 спектр испускания ртутной лампы, легко убедиться, что при экспозиции используется лишь незначительная часть энергии, излучаемой лампой, так как вследствие линейчатого характера излучения только линии 3650 и 4050 А, составляющие около 30 % излучаемой энергии, отвечают актиничному излучению. [21]

Другой класс фоточувствительных материалов образуют фоторезисты, которые отображают информацию в виде рельефных картин. При освещении фоторезиста актиничным излучением в нем происходят химические изменения, приводящие к различной его растворимости для разных экспозиций. В зависимости от того, является ли обрабатываемый фоторезист негативным ( или позитивным), проявитель с соответствующим растворителем способствует растворению либо неосвещенного, либо освещенного участка. [22]

Сложные химические полимерно-мономерные светочувствительные системы, в которых под действием излучения определенного спектрального состава протекают фотохимические процессы, получили название фоторезистов. Например, под действием актиничного излучения фоторезисты меняют свою растворимость в реактивах. [23]

Применение электроне - и рентгенорезистов, как и фоторезистов, требует оценки их чувствительности G, разрешающей способности и контрастности у. Здесь наблюдаются особенности, обусловленные природой актиничного излучения. [24]

Зависимость Мп от дозы излучения О. [25]

Негативный фотошаблон ( темнопольный) - фотошаблон, на котором изображение элементов схемы представлено в виде светлых участков на непрозрачном фоне. Позитивный фотошаблон ( светлопольный) - фотошаблон, на котором изображение элементов схемы представлено в виде непрозрачных для актиничного излучения участков на светлом прозрачном фоне. [27]

Максимальная спектральная чувствительность фоторезистов находится в диапазоне А 0 3 - 0 45 мкм. Есть фоторезисты, максимальная чувствительность которых адаптирована к области глубокого ультрафиолета ( А 0 193 мкм или А 0 248 мкм, у KrF-криптоновых и ArF-аргоновых лазеров, соответственно), но при этом возникают трудности с выбором подложек для фотомасок, достаточно прозрачных к свету с такой длиной волны. Чаще экспонирование фоторезиста осуществляется с помощью актиничного излучения, спектральные характеристики которого удовлетворяют условиям технологического процесса и требованию максималь-разрешающей способности в условиях. [28]

Схема стробоскопа без внешней синхронизации. [29]

Электронные лампы-вспышки впервые были предложены Эджертоном, Гермесхаузеном и Гриром. Лампы-фотовспышки были разработаны на основе тех же исследований, что и описанные выше тетроды, но они предназначены специально для создания сильного актиничного излучения. Вместо неона в них используются аргон или криптоново-ксеноновая смесь, дающие белую вспышку света. [30]

Страницы: 1 2