Рассматриваемая стадия

Cтраница 5

Зависимость параболической константы В от температуры.| Зависимость линейной константы скорости окисления кремния В / А от 1 / 71. [61]

Линейный закон предсказывается, если число дырок велико и не зависит от давления кислорода. Следовательно, вопрос о зарядности частиц на рассматриваемой стадии окисления окончательно пока еще не решен. [62]

Страницы: 1 2 3 4 5