Cтраница 5
![]() |
H. 3. Зависимость интенсивности / рентгеноэлек-тронных линий. [61] |
При определении концентрации элементов по глубине образца последовательно удаляют тонкие верхние слои образца ионным травлением. Проводя регистрацию спектров, получают зависимость интенсивности от времени травления, а при известной скорости травления - от глубины образца. На рис. VI 1.3 показано, например, изменение интенсивности линий рентгеноэлектронного спектра в зависимости от времени ионного травления полимерной пленки, содержащей Si, С, О, нанесенной на алюминиевую подложку. Первоначально наблюдается падение интенсивности линий С Is и О Is, связанное с удалением слоя загрязнений. [62]
Для удобства причины этих отклонений можно разбить на две группы: а) чисто оптические эффекты, обусловленные изменением показателя преломления раствора; б) эффект внутреннего поля. Использование внутреннего стандарта уменьшает ошибку за счет изменения показателя преломления, а подбором внешнего стандарта можно добиться равенства показателей преломления внешнего стандарта и образца. Считают, что этот эффект мал и не приводит к изменению интенсивности линий КР в концентрированных растворах более чем на несколько процентов. Когда отклонения становятся заметными, в спектре КР обычно наблюдается значительное уширение полос. [63]
![]() |
Распределение ионной температуры по радиусу плазменного. [64] |
Одновременно с потоком атомов перезарядки измеряется испускаемая из того же объема абсолютная интенсивность спектральной линии HJJ, возникающей в результате возбуждения атомов струи электронами плазмы. Осциллограммы интенсивности линии Нр и потока атомов пяти различных энергий приведены на рис. 26.7. Как оказалось, энергетическое распределение ионов плазмы в исследованных условиях было близким к максвелловскому с kTf х 200 эв. Диаметр атомной струи, равный примерно 5 см, был определен путем регистрации изменения интенсивности линии Нр при смещении оси коллиматора в экваториальной плоскости, Сопоставляя указанное значение поперечника атомного пучка с диаметром плазменного шнура, который составлял 30 см, мы получаем представление о пространственном разрешении аппаратуры. [65]