Cтраница 2
При изготовлении пленочных резисторов могут использоваться и химические методы их осаждения. При этом необходимая конфигурация пленки получается с помощью съемной маски. Наибольшее распространение получили станатные резистивные пленки, состоящие в своей основе из двуокиси олова. В этих пленках имеется избыток олова по отношению к стехиометрическому составу, благодаря чему в окисле, который в чистом виде относится к классу полупроводников, преобладает электронная проводимость, обеспечивающая значительную собственную электропроводность. Удельное сопротивление станатной пленки без добавок невысокое - до 20 Ом / квадрат. Основными достоинствами станатных пленок являются высокая теплостойкость ( до 250 С), высокая химическая и механическая стойкость, влагоустойчивость, что способствует при хорошей технологичности их широкому применению. [16]