Cтраница 4
Поверхность образца можно наблюдать с помощью оптической системы ( фото 2), которая при применении иммерсионной оптики обеспечивает 1400-кратное увеличение. Микроскоп закрепляется на координатном столике. Это позволяет проводить наблюдение и необходимые замеры без снятия образца с установки. Для фотографирования используется фотонасадка. Для испытаний применяются плоские образцы 70x10x3 мм. [46]
Выполнить такую задачу вручную трудно, так как даже разметка профиля на трубе представляет собою известную сложность. Выполнение же этой задачи при помощи координатного столика ( см. рис. 127) не представляет никаких затруднений. [47]
![]() |
Схема измерения шероховатости поверхности методом светового сечения. [48] |
Этот микроскоп имеет два тубуса ( рис. 8, б) - проекционный / и визуальный 2, оси которых взаимно перпендикулярны. Контролируемую поверхность детали или инструмента располагают на координатный столик и на нее при помощи проекционного тубуса через узкую щель направляют пучок лучей. Размеры неровностей на полученном изображении световой щели определяются с помощью окулярного микрометра путем последовательной установки горизонтальной линии перекрестия сначала к вершинам, а затем к впадинам неровностей. [49]
![]() |
Копир сложного профиля. [50] |
Перемещение изделия по второй координате ( 95 33 мм) производится в том же порядке по направлению к себе, но при этом движется не рабочий столик, а ползун. Все перемещения ведутся при нулевой угловой установке координатного столика. [51]
Профиль шаблона, показанного на рис. 129, также может быть выполнен фрезерованием с помощью координатного столика. Операции по центрованию поворотного круглого стола и выверке координатного столика в этом случае ничем не отличаются от операций, приведенных выше. [52]
После того как вычислительная машина произвела сравнение выходных данных индикатора с хранящимися в ее памяти схемными параметрами, она может генерировать две программы - одну для управления генератором изображения, другую для фотоповторителя. Цифровые выходные данные интерферометров в системе контроля перемещения координатных столиков установок могут обеспечить на пульте индикатора действительное изображение разрабатываемой микросхемы. Поэтому разработчик может вносить в схему поправки с помощью фотокарандаша прямо в процессе изготовления фотошаблонов. [53]
Образец из долотной стал устанавливался и закреплялся на координатном столике, коте рый позволяет в процессе измерений за счет перемещений в го ризонтальной плоскости исследовать всю подготовленную пс верхность, что особенно важно для оценки равномерности пс крытия металлической поверхности адсорбционными пленкам различных ПАВ. [54]
![]() |
Способ зажатия в самоцентрирующем устройстве эксцентричных предметов.| Приспособление для регулирования расположения оси линзы. [55] |
Обычно подобные устройства обеспечивают только равномерное зажатие цилиндрической детали в трех точках и приблизительное центрирование ее относительно оси устройства. Поэтому при необходимости точного центрирования цилиндрической детали самоцентрирующие устройства дополнительно помещают на координатный столик 9 ( см. рис. 5 - 6), либо применяют устройства, где центрирование достигается регулированием. [56]
Формирование рисунка в слое резиста с помощью экспонирования электронным лучом может быть выполнено тремя различными путями. Рисунок может быть создан при фиксированном положении луча и перемещении подложки вместе с координатным столиком; подложка может оставаться в фиксированном положении, луч перемещается за счет его отклонения системой управления. В этом случае для проектирования рисунка используется электронный луч большого диаметра, который в течение операции одного экспонирования покрывает всю поверхность подложки или ее большую часть. [57]
Поскольку эти перемещения совершаются без перезакрепления самого изделия, помещенного на рабочем столике, координатный столик позволяет обрабатывать с одной установки профили самого сложного начертания. [58]
Микроскоп МБР-3 является большой моделью рабочего биологического микроскопа и предназначен для исследования прозрачных объектов в проходящем свете при прямом и косом освещении, а также в поляризованном свете. Микроскоп МБР-3 отличается от микроскопа МБР-1 большим количеством объективов, более массивным штативом, бинокулярным тубусом и удобным координатным столиком. [59]