Влияние - поверхностный заряд
Cтраница 2
 |
Схема компенсации заряда с помощью электронного пучка.| Устройство для распыления ионным пучком. [16] |
В качестве примера рис. G иллюстрирует возможность направления на мишень, составленную из разных материалов, четырех ионных пучков из ионной пушки, что обеспечивает одновременное распыление этих материалов с определенными скоростями. Таким образом, были получены слои из смеси Si02 ( 15 %) и Ag ( 85 %), так называемые Церметс, без дополнительной компенсации поверхностного заряда изолирующей части мишени. Преимущественное осаждение металла объясняется отклонением ионов от кварцевой части мишени на серебро под влиянием некомпенсированного поверхностного заряда. [17]
 |
Геометрия масс-спектрометра с совмещенными нолями. 00 24, FyCK3000 в ( макс.. В 6300 гс ( макс.. [18] |
Таким образом, прибор получается более компактным, чем прибор с ординарной фокусировкой с таким же магнитом. Поскольку электрическое поле действует в том же направлении, что и центробежные силы, радиальные силы уравновешиваются при более низких скоростях ионов, чем те, которые требуются для прибора только с магнитным полем. Это является преимуществом с точки зрения потребления мощности, но делает работу прибора более чувствительной к влиянию поверхностных зарядов. [19]
 |
Схема устройства клидонографа. [20] |
На рис. 7 - 14 приведены типичные фотографии ( клидонограммы) для положительной и отрицательной полярностей иглы. Характер клидонограмм очень сильно зависит от полярности, так что с помощью клидонографа можно определять не только амплитуду, но и полярность импульса. Положительная фигура состоит из относительно небольшого числа длинных сильно искривленных каналов. Отрицательная фигура, наоборот, содержит большое число практически прямолинейных каналов небольшой длины. Эта разница объясняется влиянием поверхностных зарядов, оставляемых первыми лавинами электронов, аналогично влиянию объемных зарядов в газовом промежутке игл а-плоскость ( см. гл. [21]
Страницы: 1 2