Схема - распыление
Cтраница 1
 |
Разновидности катодного и ионпо. [1] |
Схема распыления на постоянном токе - схема катодного распыления диодного типа, в которой катодом служит испаряемый материал, а на заземленном аноде помещается подложка. Между электродами поддерживается высокое напряжение, создающее тлеющий разряд. Предварительно в рабочем объеме создается разрежение до 1 3 - Ю-3-1 3.10 - 4 Па, затем в камеру напускается соответствующий инертный газ до давления 10 - - 1 Па. Метод применяется в основном для распыления металлов и сплавов. [2]
Схема распыления на постоянном токе с постоянным смещением - разновидность схемы распыления на постоянном токе, отличающаяся тем, что на подложку подается отрицательный по отношению к аноду потенциал для предотвращения десорбции напыляемых на подложку частиц и для уменьшения загрязнения подложки и пленки остаточными газами. [3]
Схема распыления алюминия с помощью элекгроме-таллизатора проволочного типа показана на фиг. [4]
Схема распыления металла, подаваемого в виде проволоки я расплавляемого электрической дугой, показана на фиг. К каждой проволоке подводится электрический ток. При выходе из наконечников обе нити проволоки встречаются, возникает вольтова дуга, расплавляющая их концы. Сжатый воздух, поступающий через сопло 5, распыляет металл, который в виде мельчайших частиц наносится на поверхность детали. [5]
 |
Схема распыления металла. [6] |
Как видно из схемы распыления металла ( рис. 69), скорость струи сжатого воздуха ( кривая 7) быстро падает и уже на расстоянии 200 - 300 мм от зоны плавления оказывается ниже скорости частиц ( кривая 8), движущихся по инерции и преодолевающих сопротивление медленно движущейся струи воздуха. [7]
На рис. 4.11 показана схема магнетронного распыления с мишенью прямоугольной формы, на поверхности которой в районе выхода и входа магнитных силовых линий возникает дорожка распыления. Напыляемые подложки ( на схеме не показаны) расположены над мишенью и для достижения равномерности пленок по составу и структуре подвергаются вращению. [8]
На рис. 11 [8] и 12 представлены схемы распыления расплавленного металла воздухом или другим газом. [9]
Схема распыления на постоянном токе с постоянным смещением - разновидность схемы распыления на постоянном токе, отличающаяся тем, что на подложку подается отрицательный по отношению к аноду потенциал для предотвращения десорбции напыляемых на подложку частиц и для уменьшения загрязнения подложки и пленки остаточными газами. [10]
Принципиальная схема технологического процесса и конструкции установок для распыления воздухом аналогичны схемам распыления водой. [11]
 |
Принципиальная схема конструкции. [12] |
Для реализации ионного легирования требуется специализированное оборудование, в котором ионное насыщение может быть осуществлено, например, по схеме ионно-катодного распыления, когда в вакуумную систему подается легирующий материал в виде газообразного или летучего соединения. По этому принципу функционируют установки ионного азотирования. Скорость обработки по сравнению с обычной химико-термической обработкой возрастает в 2 - 5 раз. Применение ионного азотирования инструмента способствует повышению его стойкости при обработке металлов резанием и давлением. Обработка в среде других легирующих газов, например метана, позволяет получить на твердом сплаве покрытия из карбида титана, что также увеличивает стойкость инструмента. [13]
 |
Схемы распыления топлива мазутными форсунками.| Схемы горелок для сжигания газа. [14] |
При распыливании мазут рассеивается в топочной камере в виде тумана. По способу подвода энергии различают форсунки с механическим распыливанием ( давление создается в мазутопроводе перед форсункой) и форсунки с воздушным или паровым распыливанием. Схемы распыления мазута форсунками показаны на рис. 4.4.1. Более подробный обзор мазутных горелок приведен в специальной литературе. [15]
Страницы: 1 2