Локальное внедрение
Cтраница 1
Локальное внедрение ионов можно осуществить с помощью сфокусированного ионного луча, которым сканируют по заданной программе, либо с помощью специальных маскирующих покрытий. Для маскирующих пленок используются материалы SiO2, Si3N4, W, Mo, Au и др. Типичная толщина масок 0 1 - 2 мкм. [1]
Локальное внедрение ионов может быть осуществлено и без з-ащитной маски узкосфокусированным ионным лучом, управляемым по заданной программе. [2]
 |
Схема установки ионного внедрения.| Профиль распределения примеси и конфигурация перехода, образующегося в результате. [3] |
Для локального внедрения примесей в соответствии с топологией элементов ИС применяются те же методы, что и в диффузионной технологии. В качестве защитной маски используются слои двуокиси кремния и металлические пленки. Характер распределения примесей на фронтальной части р-п перехода при ионном внедрении подобен распределению, получаемому при диффузии. Однако распределения примесей на боковых границах в этих двух технологических методах существенно различаются. При диффузии примесь проникает не только в глубь материала, но и под окисел. При ионном внедрении примесь распространяется только прямолинейно в глубь мишени. [4]
 |
Структурная схема подсистемы управления сбытом и реализацией. [5] |
Подсистема УРИС, так же как и подсистема УМТО, имеет разветвленные внешние и внутренние связи, которые определяют трудности их локального внедрения в АСУП. [6]
Во-вторых, подсистема УМТС тесно связана не только с другими функциональными подсистемами АСУП, но и с отраслевой АСУ и АСУ органов снабжения, а также с подсистемами сбыта продукции на предприятиях-поставщиках. Наличие обширных внешних связей создает трудности для локального внедрения подсистемы УМТС на отдельных предприятиях. Все это создает предпосылки для внедрения типовой подсистемы управления материально-техническим снабжением и типовых проектных решений по УМТС для успешного использования пакетов прикладных программ. Особенность функционирования подсистемы в конкретных условиях определяется типом производства машиностроительного предприятия. [7]
Страницы: 1