Температура - травление
Cтраница 2
Используемый для травления буферный водный раствор плавиковой кислоты ( BHF) содержит 40 % - ный водный раствор фторида аммония и 48 % - ный водный раствор плавиковой кислоты в соотношении по объему 10: L Температура травления составляет 26 1 С. [16]
Для травления окалины на деталях из высококремнистых сталей применяют состав, г / л: кремнефторид натрия 2 - 3; фторид натрия 35 - 40; соляная кислота ( 1 14) 10 - 20; температура травления 70 - 90 С. [17]
Скорость травления возрастает с повышением температуры, причем в большей степени в растворе серной кислоты, чем в соляной. Практически температура травления в растворах соляной кислоты не превышает 40 С, в растворах серной кислоты ее можно увеличить до 60 С. [18]
Например, операция химического травления, которая широко используется в технологии РЭА как при производстве ПП, так и при производстве ИС. Режимы оборудования в этой операции - температура травления, тип травителя, размеры ванны или реактора, а также толщина и материал травящейся пленки - выбираются заранее и остаются неизменными в процессе операции. Однако скорость травления, которая в значительной степени определяет конечный результат ( удаление материала, минимальное искажение размеров, селективность действия травителей и др.), меняется вследствие изменения во времени таких воздействий, как концентрация частиц травителя у поверхности твердой фазы, изменения температуры поверхности из-за выделения тепла при реакции, различной кинетики травления по глубине материала. Если рассматривать операцию травления как процесс, происходящий именно на поверхности твердой фазы, то все эти переменные воздействия можно считать внешними. [19]
Ингибитор Р - вязкая темная жидкость с характерным запахом, трудно растворимая в воде; пенообразователь П - липкая темная жидкость, без запаха, легко растворимая в воде. При наличии на деталях толстого слоя окалины и температуре травления выше 50 в ванну добавляют 1 5 кГ регулятора на 1 м3 травильного раствора. Пенообразователь П добавляют в травильную ванну для предотвращения образования кислотного тумана. Количество пенообразователя зависит от площади зеркала травильного раствора; оно колеблется от 0 5 до 1 0 кГ на 1 ла поверхности ванны. [20]
Этот раствор рекомендуют для травления чистого олова. Шоттки [4 ] предлагает травитель из пяти частей глицерина, одной части азотной кислоты и трех частей ледяной уксусной кислоты; температура травления 40 С, продолжительность от 30 с до 10 мин. [21]
Травление проводилось в никелевых тиглях объемом около 40 см3, предварительно промываемых смесью плавиковой и азотной кислот. Температура травления 400 С, продолжительность после достижения указанной температуры - 15 мин. [22]
Не очень сильная ржавчина или небольшой слой окислов могут быть удалены с изделий травлением в 6 - 10 % - ном растворе фосфорной кислоты. Температура травления комнатная, время травления до 30 мин. Может быть использован и 2 % - ный раствор фосфорной кислоты, однако в этом случае необходимо подогревать раствор до температуры 70 - 80 С. Более толстые слои ржавчины и окислов удаляются травлением в 10 - 15 % - ном растворе фосфорной кислоты при температуре 40 - 50 С. Когда содержание железа в растворе достигает 2 5 %, то больше использовать раствор нельзя, так как образующиеся нерастворимые фосфаты железа препятствуют травлению. Поэтому используется только Vs часть фосфорной кислоты, что удорожает этот метод травления. Корпус ванны делают из стали и облицовывают изнутри твердой резиной. [23]
Метизы и проволока-катанка обычно изготавливаются из низкоуглеродистых сталей. Травление катанки является одним из узких мест на пути интенсификации производства метизов. Увеличения скорости травления можно достичь повышением температуры травления, что, однако, приводит к увеличению скорости коррозии и требует применения ингибиторов. [24]
Предтравление способствует улучшению травимости диэлектрика, что приводит к увеличению прочности сцепления его с покрытием, равномерности ее распределения по всей поверхности, уменьшению влияния режима переработки материала в детали. Одновременно снижаются продолжительность ( иногда в несколько раз) и ( или) температура травления, удлиняется период эксплуатации раствора. [25]
Все перечисленные операции могут быть подразделены на основные и вспомогательные. К основным относятся операции, требующие строгой стабилизации параметров процесса. Для лучшей воспроизводимости параметров процесса такие операции, как нагрев, отжиг, газовое травление, охлаждение с температуры травления до рабочей температуры, наращивание эпитаксиального слоя и нанесение окисного покрытия, в установке УНЭС-2П-В автоматизированы и запрограммированы. При этом вспомогательными операциями являются загрузка и выгрузка пластин, продувка реактора в холодном состоянии азотом и водородом, предварительный нагрев и охлаждение подложек. [26]
Он сохраняет эффективность до температуры 90 С. При травлении сталей с И-1-В улучшается качество металла, уменьшаются потери металла и кислоты, снижается наводорожива-ние, не тормозится растворение окалины. Применение И-1-В позволяет повысить температуру травления, что увеличивает производительность травильных ванн на 8 - 12 % и продолжительность работы ванн. [27]
 |
Схема образования ямки травления у дислокации под действием растворителя. [28] |
Если Vp V3, то образуются мелкие плохо видимые ямки, так как при освещении они недостаточно контрастны. Если Va % Vp, то ямки получаются глубокими, но малого диаметра, их тоже можно не увидеть. На этом основан подбор травителя для каждого материала. Отношение V3: Vp может быть изменено: 1) введением в кристалл осаждающейся на дислокациях примеси, которая будет увеличивать V3; 2) введением в растворитель замедлителя, который, адсорбируясь на ступенях, будет уменьшать Ир; 3) изменением температуры травления, изменяющей соотношение энергии активации процессов зарождения и роста. [29]
Во избежание перетравливания, разъедания и наводорожи-вания железа вводят специальные присадки. Такими присадками могут быть различные вещества - антрацен, фенол, производные хинолина, белки. Механизм действия присадок сводится к тому, что они, адсорбируясь на поверхности металла, повышают перенапряжение водорода и затрудняют растворение. Присадки, добавленные в ничтожных количествах, резко замедляют травление. Повышение температуры травления парализует действие присадок. [30]
Страницы: 1 2 3