Cтраница 2
Аналогичное положение существует и для других температурно-зависимых оптических параметров твердых тел. Зависимости п ( 9) лежат в основе трех методов термометрии: по измерению коэффициента отражения от поверхности в области непрозрачности материала, по параметрам эллипса поляризации отраженного света и по интерференционным ос-цилляциям коэффициентов отражения или пропускания в области прозрачности материала. Вероятно, при использовании разных методов лазерной термометрии необходимы данные по оптическим параметрам, полученные разными способами. [16]
Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении темпера-турно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. [17]
Лазерная термометрия неразрывно связана с комплексом представлений оптики и спектроскопии твердого тела. В основе любого из лазерных методов лежит температурная зависимость какого-либо оптического параметра твердого тела, определенный способ облучения объекта и регистрации сигнала, содержащего информацию о температуре. По данным измерений определяются параметры модели, описывающей взаимодействие излучения с объектом. Даже незначительные несоответствия между экспериментальной схемой и моделью, на основе которой проводятся вычисления, могут приводить к существенным ошибкам при определении температуры. Поэтому применение лазерной термометрии требует детального понимания принципов, особенностей и пределов применимости каждого из методов. [18]