Масс-спектрометрический течеискатель
Cтраница 3
Поэтому очень важно, если предполагается наличие течи, чтобы масс-спектрометр имел возможность анализировать остаточный газ в этом объеме и чтобы индикаторный газ не присутствовал в спектре фона; это условие необходимо для обеспечивания высокой чувствительности обнаружения течи. Для масс-спектрометрических течеискателей предел чувствительности может быть лучше 10 11 люсек. Для масс-спектрометрического течеискателя высокое разрешение не обязательно. [31]
В качестве пробного вещества могут быть применены водород, аргон или гелий. Однако чаще всего в масс-спектрометрических течеискателях используют гелий. Благодаря малому содержанию гелия в атмосферном воздухе ( всего 1 / 200000 часть) и в газах, выделяемых внутренними стенками вакуумной системы, фон, на котором регистрируют сигнал, невелик, что обеспечивает высокую чувствительность течеискателя. [32]
Современные высоковакуумные системы характеризуются очень высокой герметичностью, без которой невозможно получать предельно низкие разрежения. Некоторая сложность в технике течеискания возникает при использовании масс-спектрометрических течеискателей в установках, оборудованных только адсорбционными насосами. Проверку герметичности таких установок лучше производить перед охлаждением насоса, когда установка откачивается насосом предварительного разрежения. [33]
Такие источники применяются в вакуумных анализаторах и в масс-спектрометрических течеискателях, описанных в гл. [34]
Масс-спектрометрические течеискатели основаны на принципе ионизации газов и паров с последующим разделением образовавшихся ионов по отношениям их массы к заряду в магнитных и электрических полях. Этот метод является наиболее универсальным и чувствительным. Существуют масс-спектрометрические течеискатели, рассчитанные на работу с различными пробными веществами, но в большинстве случаев предпочтение отдается гелию. [35]
Масс-спектрометр ические течеискатели основаны на принципе ионизации газов и паров с последующим разделением образовавшихся ионов по отношениям их массы к заряду в магнитных и электрических полях. Этот метод наиболее универсален и чувствителен. Существуют масс-спектрометрические течеискатели, рассчитанные на работу с различными пробными веществами, но в большинстве случаев предпочтение отдается гелию. [36]
Масс-спектрометрические течеискатели основаны на принципе ионизации газов и паров с последующим разделением образовавшихся ионов по отношениям их массы к заряду в магнитных и электрических полях. Этот метод является наиболее универсальным и чувствительным. Существуют масс-спектрометрические течеискатели, рассчитанные на работу с различными пробными веществами, но в большинстве случаев предпочтение отдается гелию. [37]
Поэтому очень важно, если предполагается наличие течи, чтобы масс-спектрометр имел возможность анализировать остаточный газ в этом объеме и чтобы индикаторный газ не присутствовал в спектре фона; это условие необходимо для обеспечивания высокой чувствительности обнаружения течи. Для масс-спектрометрических течеискателей предел чувствительности может быть лучше 10 11 люсек. Для масс-спектрометрического течеискателя высокое разрешение не обязательно. [38]
Более того, ряд высокочувствительных методов ( галоидный, масс-спектрометрический, радиационный и др.) становятся малоэффективными при наличии грубых неплотностей, вызывающих либо отравление датчиков течеискателей ( галоидный метод), либо загрязнение атмосферы помещения, в котором производят испытание. Поэтому контроль герметичности конструкций проводят несколькими методами и осуществляют в два ( или более) этапа. Это позволяет использовать контрольную аппаратуру в оптимальном для нее диапазоне работы и для предварительного контроля применять более производительные методы. Даже на этапе контроля с высокой чувствительностью, например, с использованием масс-спектрометрических течеискателей, предусматривают несколько циклов с постепенным увеличением чувствительности до требуемой величины. [39]
 |
Схемы способов реализации масс-спектрометрического метода течеискания. [40] |
В качестве пробного газа обычно используют гелий. Он обладает малой молекулярной массой и хорошо проникает через малые течи. Гелий химически инертен, дешев и безопасен в применении. В атмосферном воздухе он содержится в весьма малых количествах ( 10 - 4 %), поэтому фоновые эффекты при работе с ним сказываются значительно меньше, чем при применении других веществ. Кроме того, по соотношению массы иона к его заряду ( т / е) гелий очень сильно ( на 25 %) отличается от ближайших ионов других газов, что облегчает его обнаружение и выполнение измерений. Поэтому масс-спектрометрические течеискатели часто называют гелиевыми. [41]
Страницы: 1 2 3