Толщина - металлическая пленка
Cтраница 2
 |
Прочность металлизированных алмазных частиц. [16] |
При этом толщина металлической пленки, рассчитанная по методу [14], составляла 3 - 8 мкм для зернистостей от 100 до 250 мкм и 13 - 16 мкм для зернистостей 400 - 500 мкм. При этом упрочнение возрастает с увеличением количества нанесенного металла. Однако здесь наблюдается ( см. рис. 1, 2) определенное насыщение значений прочности металлизированных алмазных зерен. Это, по-видимому, связано с тем, что такое количество металла ( 20 - 25 об. %) достаточно для заполнения и цементирования большинства дефектов структуры алмазных зерен и - покрытия их пленкой, дальнейшее увеличение толщины слоя металла уже менее эффективно. [17]
 |
Схема распределения изолиний. [18] |
Ток соизмеримо с глубиной проникновения электрического поля в ОК. Это указывает на принципиальную возможность оценки с помощью электропотенциального метода толщины металлических пленок, листового материала, металлических покрытий. Причем данный метод контроля реализуется при одностороннем доступе к ОК. [19]
 |
Внешний вид столика для крепления образцов, масок и контрольного образца в собранном и разобранном виде. [20] |
Для обеспечения стабильности параметров и хорошей воспроизводимости требуемых результатов большое значение имеет контроль параметров пленок в процессе напыления. Разработаны различные методы контроля [56], основанные на измерении толщины пленок в процессе напыления, которые, однако, страдают общим недостатком - не учитывают отличие свойств тонких пленок от свойств аналогичного массивного материала. Установлено, что с изменением толщины металлической пленки изменяется ее плотность, а следовательно, и удельное сопротивление образца. [21]
Внутренняя поверхность втулки и наружная - стержня покрыты тонкой металлической пленкой. На внутренней поверхности втулки нарезается четырехзаходная резьба с шириной нитки 2 6 мм, а на наружной поверхности стержня - трехзаходная с такой же шириной нитки. Резьба прорезается на глубину, несколько превышающую толщину металлической пленки. Концы образованных таким путем винтовых проводников соединяются во втулке так, чтобы получить две бифилярные обмотки. На эти обмотки, аналогично тому, как это делается в Индук-тосине, подаются напряжения: одно пропорциональное синусу, второе - косинусу. Из трех обмоток стержня средняя заземляется. Как и в ранее описанных устройствах, перемещением салазок вместе со стержнем в обмотках последнего наводятся синусоидальные напряжения, сдвинутые в двух крайних обмотках по фазе. Выходной сигнал, возникающий в результате сопоставления напряжений крайних обмоток, характеризует точное перемещение. [22]
Параметры транзисторов с изолированным затвором в сильной степени определяются геометрическими размерами. Уменьшение толщины диэлектрика w приводит к снижению U0 и увеличению / с, S и емкости затвора. Толщину диэлектрика выбирают порядка 0 1 - 0 15 мкм, толщину металлической пленки затвора-0 2 - 0 5 мкм, длину канала 5 - 10 мкм, а ширину канала 100 - 1 000 мкм. [23]
Эти контакты должны быть изготовлены предварительно или отдельным осаждением металлической пленки, или нанесением металлической пасты с последующим ее вжиганием. К датчику подсоединяется пара металлических зондов для снятия зависимости тока от напряжения внутри вакуумной системы. Однако, несмотря на легкость измерения, такой метод измерения и контроля толщины металлических пленок имеет свои недостатки. Они связаны с тем, что при начальных стадиях роста пленка состоит из зародышей и плохо связанных металлических островков ( см. гл. Даже когда пленка становится сплошной, она имеет область толщин, где наблюдается изменение удельного сопротивления вследствие уменьшения поверхностного рассеяния электронов ( см. гл. Более того, при осаждении первых нескольких сотен ангстрем зависимость сопротивления пленки от толщины подвержена влиянию величины приложенного электрического поля ( см. рис. 18 гл. Однако эта величина в значительной мере зависит от давления остаточных газов, скорости осаждения и температуры подложки. Поэтому значения толщин пленок, полученные из измерений сопротивления, редко бывают точными. Учитывая эти неопределенности, метод измерения сопротивления используют главным образом для контроля и управления процессом производства пленочных резисторов. В этом случае толщина пленки и постоянство удельного сопротивления имеют второстепенное значение. При фиксированном отношении l / w для данного датчика по измерениям тока и напряжения может быть определено поверхностное сопротивление, и необходимая величина Rs может быть получена безотносительно к изменению р в пленке, поскольку эти изменения можно компенсировать за счет ее толщины. В простейшем виде сопротивление пленки вызывает разбаланс моста и регистрируется самописцем. Когда сопротивление достигает заданной величины, мост балансируется и включается питание соленоида, управляющего заслонкой. Поскольку в процессе осаждения сопротивление датчика уменьшается на много порядков, то соответственно меняется и чувствительность мостовой схемы. Для устранения этого недостатка Беннет и Фланаган [332] использовали в плече сравнения переменное сопротивление, величина которого автоматически уменьшалась ступенями при переходе через точку баланса. [24]
Однако Датта и Хунзингер [501] показали, что существует дополнительный член второго порядка, пропорциональный ( А / Я) а и определяющий запасенную энергию. Для алюминиевых электродов на подложке из кварца ST, Х - среза он оказывается больше, чем член первого порядка. Эксперименты показали, что на центральной частоте 337 МГц у преобразователя с расщепленными электродами при толщине металлической пленки 0 09 мкм изменение скорости составило 0 24 %; данная цифра хорошо совпадает с результатом расчета. [25]
Страницы: 1 2