Толщина - стравленный слой
Cтраница 1
Толщина стравленного слоя определялась посредством микрометра, при этом была получена линейная зависимость величины стравленного слоя от времени травления. [1]
 |
Приспособления из фторопласта для химико-спектрального послойного анализа кремния. [2] |
Причиной неслучайных отклонений толщины стравленного слоя от средней толщины может быть разная скорость травления, например, на краях образца и в его середине. [3]
Величина шероховатости определяется только толщиной стравленного слоя и не зависит ни от температуры, ни от концентрации щелочи. На тонких пленках ( 5 - 20 мкм) не удается получить достаточно шероховатой поверхности, так как они, очевидно, не содержат достаточного количества микродефектов. [4]
Сходный с описанным метод определения толщины стравленного слоя можно осуществить с помощью поляризационного спектрометра. Образцы подготавливаются так же, как в предыдущем случае. [5]
Образец помещается в агрессивную среду; в результате взаимодействия на поверхности стекла по линии ею погружения появляется ступенька, равная глубине травлении образца. Толщина стравленного слоя находится на интерферометре ИЗК-46 или интерференционных микроскопах ААИН-1, МИН-45 с точностью до 0 03 мкм. [6]
Поскольку процесс травления нельзя заранее прокалибровать, необходимы измерения толщины слоя. Оценку толщины стравленного слоя удобно проводить на эл-липсометре по разности толщин окисла до и после травления. Инструментальная погрешность эллипсометра мала ( от 0 002 для толщин порядка 100 нм до 0 05 для 3 нм) и практически не влияет на погрешность химико-спектральных определений. [7]
Для определения величины наклепанного слоя стального образца производят его травление в царской водке ( 70 % азотной кислоты и 30 % соляной), а цветных металлов в едкой щелочи. При этом измеряют толщину стравленного слоя и микротвердость. Стравливание производят до тех пор, пока не станут появляться устойчивые показания микротвердости. По результатам испытания строят график. По оси ординат откладывают микротвердость, а по оси абсцисс - расстояние от поверхности вглубь образца. Такой график определяет степень и глубину наклепа верхних слоев детали. [8]
Скорость травления окиси кремния этими травителями определяется скоростью взаимодействия HF с окислом, а не диффузией HF к его поверхности. Естественно, что скорость травления зависит от свойств окисла и температуры травителя, поэтому линейной связи между толщиной стравленного слоя и концентрацией HF или временем травления, как это было для кремния, нет. Так, скорости травления окислов, полученные по разной технологии, смесью плавиковой и азотной кислот ( 1: 100; 1: 250) отличаются более чем в 10 раз. [9]
 |
Метрологические характеристики определения индия, галлия и алю.| Распределение от. [10] |
Время травления в зависимости от состава пленки, а также от требуемой толщины стравленного слоя может меняться от 2 до 30 мин и более. Контроль толщины стравленного слоя для слоев 2 - 10 мкм осуществляли по весу. [11]
ПЭТФ показатель шероховатости Ra ( среднее арифметическое отклонение микронеровностей от базовой линии профиля) сначала увеличивается, проходит через максимум, а затем уменьшается и остается практически неизменным до полного разложения пленки. Максимум шероховатости соответствует толщине стравленного слоя 25 - 30 мкм. [12]
 |
Кривые изменения остаточных напряжений в поверхностных слоях резьбы. [13] |
Резьба на болтах накатывалась на станке UPW - 12 5x70 на упоре с усилием в гидроцилиндре 98 1 кН при частоте вращения роликов п 20 мин 1 в течение 1 2 с. На рис. 7.10 показаны кривые изменения осевых а2 и окружных ( Те напряжений во впадинах резьбы. Сплошные линии соответствуют накатыванию с заполненным контуром роликов, штриховые - накатыванию с незаполненным контуром; а - толщина стравленного слоя. Видно, что осевые напряжения сжатия в резьбе болтов в последнем случае в 1 6 раза выше. Эти напряжения способствуют существенному повышению прочности соединений с резьбой, полученной в условиях незаполненного контура. [14]
Толщина образовавшегося слоя закиси меди достигала 1.3 - 10 2 см. Окислы снимались послойно путем погружения образцов в азотную кислоту и промывания их водой. Зная разницу в весе до и после растворения части окисной пленки и площадь пластинки, легко было определить толщину стравленного слоя окислов. [15]
Страницы: 1