Cтраница 2
Полученное таким образом облако капелек в камере распыления сталкивается на своем пути с механическим препятствием, называемым импактором, на котором большие капли осаждаются либо разбиваются об него на более мелкие капельки. Маленькие капельки уносятся потоком газа-окислителя из камеры распыления в горелку, где они ( вместе с газом-окислителем) смешиваются с горючим газом. Капельки ( со смесью горючего газа и окислителя) проходят через отверстия в торце горелки, где они при поджигании образуют пламя. [16]
Тетрахлорсилан заливают в бачок, который соединен с испарителем, подогреваемым до требуемой температуры электрическим нагревателем. Кислород барботирует через испаритель с тетрахлорсиланом, образуя napo - газовую смесь ( ПГС), и поступает в центральный сырьевой канал горелки. В боковые периферийные трубки горелки подается водород. Истечение реакционных газов из горелки регламентируется процессами газодинамики. При этом необходимо избежать протекания химических реакций непосредственно в области истечения газов из горелки, в противном случае на торце горелки будет образовываться осадок диоксида кремния, который, отрываясь от горелки, может попасть на напыляемую заготовку, ухудшая ее структуру. [17]