Cтраница 3
Типичная напылительная установка показана на фиг. Распыляемый материал нагревается до температуры испарения. Между источником металла и поверхностью полупроводника имеется специальный экран для защиты от любых загрязнений, которые могут находиться на поверхности металла и которые испаряются раньше его. После удаления загрязнений экран сдвигается и начинается напыление. При испарении сплавов золота с сурьмой следует учитывать, что сурьма имеет более высокое давление насыщенных паров, чем золото, и, следовательно, еще во время предварительного прогрева большая часть ее может испариться. Установлено, что сурьма, содержащаяся в сплаве с золотом, может полностью испаряться при температурах, близких к точке плавления золота. [31]