Cтраница 2
После установки шаблона шпиндель для растачивания каждого отверстия настраивается по индикатору, наконечник которого упирается в рабочую поверхность отверстия шаблона. Для настройки может быть использован специальный прибор - индикаторный центроискатель. При использовании этого прибора наблюдение за точностью отсчета координат отпадает. [16]
Наиболее распространен метод контактной фотолитографии, начальной стадией которого является вырезание изображения слоев микросхемы, увеличенных в 100 - 200 раз координатографом на стекле, покрытом специальной краской, или на пленочных материалах с малой усадкой. В результате получают фотооригинал микросхемы. Применение координатографов с точностью отсчета координат 12 5 мкм и точностью определения координаты 25 мкм обеспечивает высокую точность изготовления фотооригиналов. [17]
Станок комплектуется генератором типа ШГИ-40-440Б. Станок 4Д722В для обработки деталей размером 630x320 мм имеет точность отсчета координат 0 008 мм. Точность обработки сквозных отверстий составляет 0 01 - 0 02 мм, а фасонных 0 03 - 0 05 мм. Станок оснащен устройством для электроэрозионного шлифования отверстий и профильного электроэрозионного шлифования. Для особо точных работ рекомендуется станок 4Д722А с точностью установки стола 0 002 мм. [18]