Ультрачистый водород
Cтраница 1
 |
Графики зависимости In S - Т - для металлов групп А и В.| Изменение твердости при обезуглероживании стали 40 в атмосфере Н2 - Н2О - NJ при температуре 850 С. [1] |
Ультрачистый водород находит применение в процессах термической обработки - светлого отжига магнитных материалов трансформаторной стали, пермаллоя, сплавов альнико и др.; в процессах получения монокристаллов полупроводников - восстановление окислов германия и силанов кремния; в процессах восстановления окислов металлов, в том числе окислов хрома и марганца; в процессах термической обработки коррозионно-стойкой стали и жаропрочных сплавов; в процессах спекания железных, железоникелевых сплавов и сплавов тугоплавких металлов. Установка для получения ультрачистого водорода разработана Всесоюзным научно-исследовательским институтом - металлургической теплотехники - ВНИИМТ. [2]
 |
Диаграмма частичного сжигания диссоциированного аммиака. [3] |
Достижением последнего времени является получение ультрачистого водорода. Получение ультрачистого водорода 99 99999 %, с точкой росы - 75 С и с содержанием кислорода и азота 0 1 ррм производится путем пропускания его через перегородки из палладиевого сплава. [4]
Достижением последнего времени является получение ультрачистого водорода. Получение ультрачистого водорода 99 99999 %, с точкой росы - 75 С и с содержанием кислорода и азота 0 1 ррм производится путем пропускания его через перегородки из палладиевого сплава. [5]
 |
Графики зависимости In S - Т - для металлов групп А и В.| Изменение твердости при обезуглероживании стали 40 в атмосфере Н2 - Н2О - NJ при температуре 850 С. [6] |
Ультрачистый водород находит применение в процессах термической обработки - светлого отжига магнитных материалов трансформаторной стали, пермаллоя, сплавов альнико и др.; в процессах получения монокристаллов полупроводников - восстановление окислов германия и силанов кремния; в процессах восстановления окислов металлов, в том числе окислов хрома и марганца; в процессах термической обработки коррозионно-стойкой стали и жаропрочных сплавов; в процессах спекания железных, железоникелевых сплавов и сплавов тугоплавких металлов. Установка для получения ультрачистого водорода разработана Всесоюзным научно-исследовательским институтом - металлургической теплотехники - ВНИИМТ. [7]
Первые работы, посвященные газохроматографической очистке металлов и полупроводниковых материалов, появились в 1960 г. Направление, связанное с хроматогра-фическим получением чистых неорганических веществ, развивается медленно, и в литературе опубликовано сравнительно мало работ по этому вопросу. Одним из преимуществ расплавов неорганических солей является их высокая стабильность при высоких температурах, что дает возможность применять их в чрезвычайно широком диапазоне температур, поскольку эвтектики нелетучих неорганических галогенидов могут иметь температуры плавления на 300 - 1000 С ниже температур кипения чистых компонентов. Бочинский, Джувет и Гардинер [4, 7] рассмотрели возможность применения неорганических эвтектик для газохроматографической очистки полупроводниковых материалов, так как при высокой температуре многие галогенпроизводные металлов легко переводятся в свободные металлы путем реакции с ультрачистым водородом. [8]
Недавно Робо-шем [67] был разработан метод определения примесей в водороде и в двуокиси углерода. Поскольку помехи со стороны основы пробы отсутствуют, главная задача - увеличить чувствительность определения. Палладиевые трубки, содержащие 25 % серебра, широко применяют для получения ультрачистого водорода. В этом методе анализа трубки применяют для обратной цели: водород откачивают из пробы, а оставшиеся сконцентрированные примеси анализируют. На рис. 6 приведена схема применяемой аппаратуры. Палладиевую трубку ( производства компании General Electric) нагревают до 500 проволочным нагревателем, помещенным в керамическую трубку. Температура измеряется хромель-алюмелевой термопарой, максимальная скорость откачки 0 01 л / сек. Установка монтируется на системе напуска масс-спектрометра так, что пробы расширяются непосредственно, и нет необходимости применять внешние насосы для удаления водорода. [9]
Страницы: 1