Cтраница 2
Наибольший интерес с точки зрения использования рассматриваемого волновода в СВЧ-аттенюаторах представляет зависимость от частоты коэффициента затухания. Как видно из рис. 3.12, при малых значениях поверхностного сопротивления он с ростом частоты сначала увеличивается, затем при о) - - оо спадает до нуля. При больших значениях поверхностного сопротивления коэффициенты затухания имеют монотонную частотную зависимость. Из рис. 3.12 видно, что с увеличением поверхностного сопротивления крутизна частотных характеристик затухания увеличивается: чем больше п, тем быстрее уменьшается с частотой коэффициент затухания. При создании широкодиапазонных СВЧ-устройств, например аттенюаторов, важно иметь постоянство коэффициента затухания в достаточно широком диапазоне частот. В СВЧ-аттенюаторах, выполняемых на основе прямоугольных волноводов с резистив-ными пленками, возбуждение поля осуществляется, как правило, центральным проводом прямоугольного кабеля, что приводит к возникновению в волноводной части аттенюатора волн, близких по структуре поля к волне Ец однородно заполненного прямоугольного волновода. [16]
Один из способов снижения систематической погрешности состоит в создании на поверхности эпитаксиальной структуры таких условий, при которых изгиб зон незначителен. Например, для кремния л-типа измерение рекомендуется проводить непосредственно после освежения поверхности в плавиковой кислоте, включая операции промывки в деиони-зованной воде и сушки. Такая химическая обработка поверхности кремния n - типа с р16 Ом-см устраняет приповерхностный изгиб зон. Однако и этот способ в полной мере не устраняет трудностей, при контроле параметров тонких эпитаксиальных слоев. Случайная погрешность измерений составляет 10 % npi - доверительной вероятности 0 95 для слоев с поверхностным сопротивлением меньше 10 кОм, и она резко возрастает при увеличении поверхностного сопротивления. [17]
Оно в значительной степени определяет значение переходного сопротивления контактов, надежность контактирования, срок службы изделий и отключающую способность. Это объясняется тем, что в поры материала контактов из окружающей среды могут проникать влага и химически активные вещества, которые, взаимодействуя с материалом контактов, образуют слой твердого химического соединения - пленку. Пленка при определенных условиях может постепенно разрушать контактные поверхности. Это явление называется коррозией. Образование пленок отрицательно влияет на качество контактирования. Во-первых, пленки из продуктов коррозии обладают повышенным удельным электрическим сопротивлением по сравнению с удельным сопротивлением основного материала контакта. Пленки нарушают соприкосновение контактных материалов в отдельных точках и приводят к увеличению поверхностного сопротивления. Значительная коррозия может явиться причиной временного или полного нарушения проводимости контакта. Во-вторых, разрушение пленки под действием механических ударов и вибрации приводит к повышенному расходу материала контакта и в конечном счете к сокращению срока службы. Однако разрушение пленки имеет и достоинства, так как при нем очищаются контактные поверхности и увеличивается количество точек соприкосновения. [18]