Cтраница 4
Формирование рисунка фотолитографическими методами основано на использовании полимерной пленки заданной конфигурации, нанесенной на поверхность металлических или изолирующих пленок, покрывающих всю поверхность подложки. Рисунок микросхемы наносится на маскирующее покрытие из полимерной пленки и повторяется в пленке металла или изолирующего слоя вытравливанием незащищенных участков. Маскирующее покрытие из полимерной пленки создается с помощью полимерных фото-чувстнительных материалов, называемых фоторезистами, молекулярная структура и растворимость которых изменяются при облучении фотонами. Для того, чтобы выделить те участки, на которых следует изменить растворимость фоторезиста, и чтобы оградить их от воздействия светового излучения, необходимо иметь диапозитив или фотошаблон с рисунком требуемой конфигурации. Этот процесс аналогичен процессу контактной печати, применяемому в фотографии, за исключением того, что вслед за проявлением рисунка в слое фоторезиста, следует травление рисунка в пленке, на которую нанесен фоторезист и удаление полимерного маскирующего покрытия. [46]
Па ( 0 3 - 0 2 кгс / см2) и занимает около 18 % площади очага ядерного поражения. Деревянные здания будут сильно или полностью разрушены, каменные - получат средние и слабые разрушения. Убежища, противорадиационные укрытия и подвальные помещения полностью сохраняются. На улицах образуются отдельные завалы. От воздействия светового излучения происходят массовые загорания горючих материалов, предметов и построек, приводящие к образованию сплошных пожаров. Для зоны характерны массовые санитарные потери среди незащищенного населения. Люди могут получить легкие травмы, ожоги, а при наземных взрывах возможны поражения радиоактивными осадками. [47]
Источником светового излучения является светящаяся область, состоящая из нагретых до высокой температуры газообразных продуктов взрыва и воздуха. Время действия светового излучения зависит от мощности ядерного боеприпаса и может продолжаться от 3 до 20 с. Прекращение светового излучения наступает при температурах огненного шара, лежащих ниже 1000 С. По своему составу световое излучение представляет собой ультрафиолетовые, инфракрасные и видимые лучи. Распространяясь от центра взрыва со скоростью света, световое излучение вызывает ожоги открытых участков тела, временное ослепление или ожоги сетчатки глаз. При взаимодействии светового излучения с материальными объектами оно может отразиться от них, поглотиться ими или пройти через них. Поэтому степень воздействия светового излучения будет определяться не только общим количеством переносимой энергии и временем воздействия, но и свойствами вещества, с которым оно взаимодействует. [48]