Cтраница 2
После воздействия рентгеновского излучения потенциальный рельеф считывается матрицей микроэлектрометров, содержащей, например, 130 элементов. После нескольких проходов по пластине в двух взаимно перпендикулярных направлениях может быть считан потенциальный рельеф с пластин достаточно большой площади за 1 5 мин. [16]