Изображение - элемент - схема
Cтраница 1
Изображения элементов схем, которые должны располагаться в нескольких местах графической страницы, удобно формировать, задавая координаты в виде переменных X, Y. В этом случае для изображения элемента схемы в определенном месте экрана достаточно задать начальные координаты и вызвать подпрограмму изображения элемента. [1]
Модуль - единичное изображение элементов схемы или их совокупности, выполненное в соответствующем масштабе по отношению к размерам элементов схемы. [2]
Металлизированный фотошаблон - фотошаблон, на котором изображение элементов схемы сформировано тонкой металлической пленкой. [3]
Эмульсионный фотошаблон - фотошаблон, на котором изображение элементов схемы образовано галоидо-серебряной фотографической эмульсией. [4]
Рельефное изображение, рельеф из фоторезиста - изображение элементов схем, сформированное пленкой фоторезиста после проявления. [5]
Допускается ли на схемах одного вида помещать изображения элементов схем другого вида. [6]
Негативный фотошаблон ( темнопольный) - фотошаблон, на котором изображение элементов схемы представлено в виде светлых участков на непрозрачном фоне. Позитивный фотошаблон ( светлопольный) - фотошаблон, на котором изображение элементов схемы представлено в виде непрозрачных для актиничного излучения участков на светлом прозрачном фоне. [7]
Транспарентный ( цветной) фотошаблон - фотошаблон, на котором изображение элементов схем сформировано покрытием, не пропускающим актиничное излучение и пропускающим неактиничное ( видимая область спектра) для фоторезиста излучение. [8]
В зависимости от типа процессов фотолитографии различают негативный ( темнопольный) фотошаблон, на котором изображение элементов схемы выполнено в виде светлых фигур на темном поле, и позитивный ( светлопольный) фотошаблон с темными элементами на светлом поле. Кроме того, получили распространение зеркальные фотошаблоны с зеркально-симметричным изображением элементов по отношению к топологии структуры и транспарантные, на которых изображение элементов сформировано пленкой материала, не пропускающего актиничного для данного типа фоторезиста излучения, для неактиничного излучения материал практически прозрачен. [9]
Хотя покрытия ST-2, ST-3 и непрозрачны для видимого спектра, однако имеют небольшой коэффициент отражения, что способствует улучшению воспроизведения изображения элементов схем пленкой фоторезиста. [10]
 |
Схема воспроизведения изображения методом фотолитографии. [11] |
Последующее воздействие агрессивных факторов ( например, химическое травление) позволяет удалять материал, находящийся на участках, свободных от защитной маски фоторезиста, что обеспечивает воспроизведение изображения элементов схем на подложке. [12]
Изображения элементов схем, которые должны располагаться в нескольких местах графической страницы, удобно формировать, задавая координаты в виде переменных X, Y. В этом случае для изображения элемента схемы в определенном месте экрана достаточно задать начальные координаты и вызвать подпрограмму изображения элемента. [13]
Негативный фотошаблон ( темнопольный) - фотошаблон, на котором изображение элементов схемы представлено в виде светлых участков на непрозрачном фоне. Позитивный фотошаблон ( светлопольный) - фотошаблон, на котором изображение элементов схемы представлено в виде непрозрачных для актиничного излучения участков на светлом прозрачном фоне. [14]
Мультиплицирование изображения фотошаблона в оптико-механическом методе осуществляют с помощью фотоповторителей. Фотоповторители - устройства, состоящие из одной или нескольких редукционных камер с высоким разрешением и координатного стола с точностью перемещения 0 2 мкм. Уменьшенное до истинных размеров изображение элемента схемы проецируется редукционной камерой на фотопластинку, помещенную на координатный стол. Экспонирование участков фотопластинки производится с шагом, который задается перемещением координатного стола. Изображение разворачивается по строкам и столбцам вплоть до заполнения всей активной площади фотошаблона. [15]
Страницы: 1 2