Установка - напыление
Cтраница 1
Установки струйно-электростатического напыления конструктивно близки к установкам струйного напыления, описанным ранее. [1]
Все установки электроструйного напыления со встроенным в распылитель бункером-питателем предназначены для опытного и мелкосерийного производства. [2]
 |
Электрическая схема вакуумного агрегата установки на. [3] |
Рассмотрим типовые участки схемы установки ва-куумного напыления, предназначенной для нанесения на поверхность стеклянной подложки металлических или полупроводниковых покрытий методом термического испарения Е вакууме. [4]
 |
Установка для нанесения полимерных покрытий.| Схема электростатического распылителя. [5] |
Отечественной промышленностью освоены и выпускаются три типа установок электроструйного напыления. [6]
 |
Установка ESHW2 - А1500 для полунепрерывного вакуумного покрытия фирмы Ульвак ( Япония. [7] |
Что касается средств, применяемых для создания вакуума в установках напыления, то в случае их периодической работы важно получить предельное давление в системе возможно быстрее. Нужно также периодически работающую установку конструировать так, чтобы ее можно было быстро и удобно прогреть. В некоторых случаях целесообразно применение геттерного насоса, так как при нагреве испарителей во время напыления выделяется дополнительное количество газа, которое может вызвать нежелательное повышение давления. До начала напыления внутреннюю поверхность установки покрывают слоем титана, который в процессе напыления и служит геттерным насосом. По некоторым данным, для таких установок не всегда целесообразно применение геттерно-ионных насосов, а наилучшими средствами откачки считают диффузионные насосы с лабиринтными отражателями или молекулярные насосы. Возможно также применение конденсационных насосов. [8]
Для реализации этих процессов в производстве требуется сложнейшее технологическое оборудование: высоковакуумные установки напыления, установки наращивания эпитаксиальных слоев, печи с прецизионным регулированием температуры, установки электронно-ионной и лазерной обработки, координатографы, установки для фотолитографии, сварки и целый ряд вспомогательных устройств. [9]
 |
Конструкция одинарного ( а, двойного симметричного ( б, двойного несимметричного ( в и тройного ( г пакетов. [10] |
Для сбора пакетов требуется сварочный пост, для нанесения подслоя - гальванические ванны или установки напыления. [11]
Таким образом, можно заключить, что аппаратурно-процессная единица является элементом технологии, в котором протекает тот или иной типовой процесс. Примером аппаратурно-технологической единицы могут быть: установка термовакуумного напыления, эпитакси-альная или диффузионная установки с процессами, которые в них протекают. [12]
Эффективность покрытий вполне очевидна. Многослойные нитридные покрытия, технология которых требует использования специализированного оборудования ( многокатодных установок магнетронного напыления), экономически целесообразны особенно для механической обработки особо твердых материалов. [13]
Первая схема технологична, обеспечивает высокое качество и надежность пленок, разрешающая способность системы коммутации невысока. Так, достижимая минимальная ширина проводников и расстояние между ними составляет 100 мкм. Кроме этого, в современных конструкциях установок напыления трудно обеспечить точность совмещения слоев лучше 50 мкм. [14]
 |
Схема нанесения полимерного. [15] |
Страницы: 1 2