Установка - подложка
Cтраница 1
Установка подложки в нулевое положение относительно луча ( начало сканирования) осуществляется автоматическим совмещением луча со специальными реперными метками. [1]
 |
Устройства для напыления в тгрямом пучке. [2] |
В этой установке подложки помещаются на нагреваемый алюминиевый держатель, который может вращаться и занимать такие положения, при которых происходит ионная бомбардировка, напыление металлических электродов или напыление CdS и серы, причем вакуум при этом не нарушается. Держатель может также поворачиваться вокруг своей собственной оси для того, чтобы регулировать угол падения потока испаряемых частиц и контролировать ориентацию пленки, как это будет показано в следующем разделе. Испарители CdS и серы разделены, и ими управляют каждым в отдельности; они помещены в отдельную камеру, охлаждаемунз водой и снабженную заслонкой, приводимой в движение соленоидом. Прямо над заслонкой находится небольшой охлаждаемый цилиндрический экран, на котором конденсируется материал, не попавший в результате рассеяния в прямой поток. Процедура получения пленок такова: после химической очистки подложка вместе с держателем нагревается в вакууме примерно до 150 С. [3]
Изнутри также обязательна установка подложки из оргстекла толщиной не более 2 мм. При разрушении от механического повреждения покровного стекла и светофильтра подложка из оргстекла защитит глаза от травм. Светофильтры для нормального обзора имеют размер 52ХЮ2 мм, для увеличенного обзора - 90ХЮ2 мм. [4]
Процесс трафаретной печати, схематически изображенный на рис. 2.17, включает установку подложки в корпусе держателя, перевод держателя в положение, при котором он находится непосредственно под трафаретом, и точную фиксацию подложки относительно рисунка трафарета. Рисунок трафарета создают с использованием методов фотолитографии, при этом участки полотна трафарета с открытыми: ячейками определяют конфигурацию области, на которую будет нанесена паста. Подложка, переведенная в рабочее положение, находится на малом, строго определенном расстоянии от трафарета. Верхнюю плоскость трафарета покрывают небольшим количеством пасты. Резиновый скребок, называемый ракелем 1, перемещаясь от одного края трафарета к другому, прогибает его, приводя в контакт с подложкой, и выталкивает пасту через открытые ячейки сетки. Когда ракель выходит за пределы подложки, полотно трафарета под действием упругих сил возвращается в исходное положение, а на подложке остается отпечаток пасты необходимой формы. После этого держатель выводят из-под трафарета и, установив новую подложку, продолжают процесс печати. [5]
 |
Способы работы систем, использующих электронный пучок. [6] |
Мгновенное положение подложки должно быть обеспечено с точностью долей микрометра, чтобы погрешность в установке подложки могла быть устранена изменением в отклонении пучка. Эти сложные системы управляются ЭВМ, которая в реальном времени осуществляет мониторинг рабочих параметров электронной оптической и механической систем и на его основе переносит данные, необходимые для дискретного образования изображения, в отклоняющую систему. Скорость, с которой управляющая система способна передавать эти данные, лимитирует время экспонирования. [7]
Клеевые соединения осуществляют путем нанесения на хорошо очищенную и обезжиренную поверхность дозированного количества клея, установки подложки ( кристалла), легкого придавливания, сушки и последующей полимеризации. [8]
Таким образом, полный цикл процесса изготовления ПМП состоит из следующих этапов: химической очистки подложек, установки подложек в загрузочную камеру и шлюзования, перевода в нагреватель и выдержки в течение 20 - 30 мин, измерения скорости испарения компонентов, расчета скорости протяжки кассет при заданной диафрагме ( или наоборот), подачи кассет в рабочую зону и конденсации пленок, охлаждения до 100 С и перевода в зону выгрузки, контроля параметров пленок. [9]
Заряженные в поле коронного разряда частицы порошка под действием электрического поля устремляются к заземленному осадительному электроду 5, выполненному в виде металлической пластины 100X100 мм с отверстиями диаметром 30 мм для установки подложек - круглых металлических пластин, укрепляемых заподлицо с поверхностью электрода. [10]
Печатное устройство содержит следующие основные элементы: 1) трафарет, закрепленный в раме; 2) держатель подложки и систему механической подачи, которую можно приводить в действие вручную или автоматически; 3) ракель и прижимное устройство; 4) регулировочный механизм для установки подложки строго в определенном положении по отношеник к трафарету. [11]
Разрезание алмазными дисками часто используется для разделения глазурованной и неглазурованной керамики. Оно требует проведения таких подготовительных и заключительных операций, как установка подложки на плоском держателе пластин, выравнивание, поворот смонтированного блока для второго реза и удаление приклеивающего цемента. При этом методе обычно происходит отслаивание эмали на отрезаемых краях и загрязнение всей поверхности опилками. Для того, чтобы при приложении усилия из вне происходило разламывание, подложки разделяются на модули достаточно глубокими канавками. [12]
Подложки очищают до и после помещения в вакуумную камеру. Наиболее детально исследованы способы очистки стеклянных подложек. Более эффективная очистка достигается промывкой в течение 1 - 2 мин в 1 - 2 % - ном растворе плавиковой кислоты с последующей многократной промывкой в воде. Перед установкой подложки в вакуумную камеру иногда применяют дополнительную очистку активированным углем. [13]
Один из видов волноводно-микрополоскового перехода показан на рис. 8.21. Здесь соединение волновода с микрополосковой линией осуществляется широкополосным ступенчатым трансформатором гребенчатого типа, состоящим из четвертьволновых секций и механически связанным с микрополосковой схемой посредством специального контакта прижимного винта. Волновые сопротивления и геометрические размеры каждой ступени трансформатора рассчитывают для заданной полосы частот. Высоту последней ступени трансформатора выбирают таким образом, чтобы подложка соприкасалась с гребенчатой линией в ее центре. При этом переходы обладают хорошо воспроизводимыми параметрами. Обычно применяемые в переходах гребенчатые линии имеют ширину 2 44 мм. Для большей механической прочности волновод и подложку закрепляют на общем основании. Изолированный прижимной винт соединяет контактный элемент с микрополосковой линией. Край гребенчатой линии используют в качестве стопорного устройства для установки подложки. [14]
 |
Волноводно-микрополосковый переход. [15] |
Страницы: 1 2