Сверхвысоковакуумная установка
Cтраница 1
Сверхвысоковакуумные установки обычно изготавливают цельнометаллическими с использованием разборных соединений с применением медных или алюминиевых прокладок, поэтому установки для обезгаживания можно прогревать до 400 - 500 С. Для получения безмасляного вакуума в установках этого типа чаще используют насосы поверхностного действия ( геттерно-ионные испарительные, распылительные, криогенные, сорбционные и др.), а также их комбинации. [1]
Сверхвысоковакуумная установка для исследования диссоциации окислов. [2]
Сверхвысоковакуумные установки для напыления фирмы Эдварде ( Англия) с диаметром камеры 355 мм дают возможность получать давление 5 10 1 мм рт. ст. Камеру изготовляют из коррозионностойкой стали, допускающей высокотемпературный прогрев. В рабочей камере предусмотрены специальные отверстия с фланцами для присоединения криогенного насоса, датчика ионизационного манометра, масс-спектрометра и других необходимых устройств. Криогенный ( конденсационный) насос ( см. рис. 378) опускают в камеру через отверстие, расположенное сверху. Вся система откачивается распылительно-ионным и титановым сублимационным насосами, предварительная откачка производится либо последовательно соединенными сорбционными насосами, либо двухступенчатым вращательным насосом с ловушкой. Нормальная температура прогрева 300 С, а при наличии прокладок из золота может достигать 400 С. [3]
 |
Установка ESHW2 - А1500 для полунепрерывного вакуумного покрытия фирмы Ульвак ( Япония. [4] |
На рис. 151 показана сверхвысоковакуумная установка для напыления с одинарными стенками. [5]
Так, например, высоковакуумные и сверхвысоковакуумные установки серии УВН могут быть как однооперационные, так и многооперационные; сверхвысоковакуумные установки могут предназначаться только для термического испарения, так как для катодного и ионно-плазменного распыления, а также для полимеризации в высокочастотном разряде высокий вакуум не нужен. [6]
Так, например, высоковакуумные и сверхвысоковакуумные установки серии УВН могут быть как однооперационные, так и многооперационные; сверхвысоковакуумные установки могут предназначаться только для термического испарения, так как для катодного и ионно-плазменного распыления, а также для полимеризации в высокочастотном разряде высокий вакуум не нужен. [7]
 |
Установка для воспроизведения условий космоса ( фирма Лейбольд, ФРГ. [8] |
Высотные и космические испытательные камеры изготовляют фирмы Пенсальт ( США), Ульвак ( Япония) и др. На рис. 240, а показана сверхвысоковакуумная установка EBD - 40G ( фирма Ульвак, Япония), в которой создается вакуум до 10 - 9 мм рт. ст. и обеспечивается высокая чистота остаточного газа. [9]
 |
Сорбционные насосы. [10] |
Подобные насосы фирмы Эдварде ( Англия) EZ500 и EZ1500 содержат соответственно 500 и 1500 г сорбента; их применяют в качестве предварительных насосов в сверхвысоковакуумных установках. [11]
 |
Разъемные вакуумно-плотные фланцевые соединения с металлической прокладкой. [12] |
Металлические прокладки в основном применяют для создания вакуума в сверхвысоковакуумных системах, где требуется прогрев установки до 450 - 500 С. В качестве материала для прокладок в сверхвысоковакуумных установках применяют индий, отожженную медь, алюминий, золото. Для создания вакуумноплот-ного соединения нужно достичь пластической деформации металлической прокладки в месте ее соприкосновения с уплотняющими поверхностями фланцев. [13]
Зачастую необходимо, чтобы вакуумные уплотнения отвечали специальным требованиям. Среди этих требований наиболее важными являются: устойчивость к высоким или низким температурам, в частности при термоциклах, устойчивость к коррозии или к воздействию проникающих излучений. Для достижения сверхвысокого вакуума ( табл. 1 - 2) вакуумные камеры необходимо прогревать до температур 400 - 500 С. Поэтому все соединения, используемые в сверхвысоковакуумных установках, должны не только обладать вакуумной плотностью ( низкой скоростью натекания - см. табл. 1 - 5), но и сохранять ее в процессе прогрева и во время термоциклов. Это обстоятельство значительно ограничивает диапазон материалов, используемых в сверхвысоковакуумных системах. [14]
В зазоре между основаниями катода и анода находятся два коротких полых цилиндра, соединенных с вспомогательным катодом 3, который полностью окружает главный катод. На анод подается напряжение до 6 кв, система находится в аксиальном магнитном поле 2 кэ. При такой конфигурации электродов исключается ток автоэлектронной эмиссии из тока, проходящего через прибор. Образцом манометра типа Редхеда является манометр ИММ-1. На сверхвысоковакуумной установке, откачиваемой парортутными насосами и самим манометром ИММ-1, были зарегистрированы токи, соответствующие давлению Ю-12 мм рт. от. [15]
Страницы: 1