Многокамерная установка
Cтраница 2
В условиях серийного производства обезжиривание поверхностей деталей производят струйным способом в многокамерных установках непрерывного действия, что позволяет автоматизировать процесс. [16]
От грубых загрязнений детали следует очищать обычными методами. Ультразвук необходим только для чистовой очистки; часто для этих целей применяют многокамерные установки с обязательной фильтрацией рабочей жидкости. Детали крупных размеров очищают при частотах 18 - 25 кГц, мелкие - при более высоких частотах, но меньших амплитудах, чтобы избежать механических повреждений. [17]
Применение вакуумных систем с ловушками и скрубберами выхлопных газов после насосов также повышает безопасность эксплуатации реакторов ХОГФ пониженного давления по сравнению с реакторами атмосферного давления, но несколько снижает их технологическую производительность из-за необходимости периодической откачки реактора. Для увеличения производительности одинаковые реакторы колпакового типа также могут объединяться в составе многокамерной установки ХОГФ. [18]
 |
Схемы однокамерной ( а, двухкамерной ( б трехкамерной ( в и че-тырехкамерной ( г установок металлизации рулонных диэлектрических материалов. [19] |
В последнее время с целью упрощения технологии, а также из экономических соображений стараются исключить этап дегазации за счет сокращения времени нанесения покрытия и предотвращения нагрева подложки в вакууме. Разработаны многокамерные установки, в которых рабочих объем разделен на несколько отсеков с индивидуальной откачкой. В многокамерных установках металлизируют даже материалы с большим содержанием летучих компонентов. На рис. 194 показаны схемы однокамерной и многокамерных установок. Основной барабан, к которому прижимается полоса при металлизации, охлаждается водой. [20]
Перспективен метод молекулярно-пучковой эпитаксии. Процесс осуществляют в условиях глубокого вакуума ( 10 - 10 - 10 - 12 мм рт.ст.) при использовании мол. Применение особо чистых исходных в-в, создание многокамерных установок с охлаждаемыми до низких т-р и вращающимися держателями подложек позволяют резко повысить чистоту выращиваемых слоев и их однородность. Разработан метод получения эпитаксиальных композиций, содержащих неск. Существенно повышается гибкость процесса применением при наращивании слоев и их легировании ионных пучков, а также летучих соед. Детальное исследование механизмов кристаллизации позволило оптимизировать условия травления подложек с получением атомно-гладких и атомно-чистых пов-стей, увеличить скорости роста слоев при сохранении рекордно низких т-р эпитаксиальиого наращивания. Все это позволяет получать этим методом многослойные эпитаксиальные структуры со сверхтонкими слоями и наим. Методом молекулярно-пучковой эпитаксии выращивают эпитаксиальные композиции § 1, соед. [21]
 |
Фракционная эффектив.| Принципиальная схема. [22] |
Принцип работы таких установок был рассмотрен на стр. Общее устройство показано на рис. VI-30. Преимуществами таких циклонов являются незначительность истирания стенок и возможность очистки горячих газов, которые могут быть охлаждены потоком вторичного воздуха, поэтому для изготовления корпуса циклона не требуются огнеупорные материалы. Созданы также многокамерные установки. [23]
 |
Схемы однокамерной ( а, двухкамерной ( б трехкамерной ( в и че-тырехкамерной ( г установок металлизации рулонных диэлектрических материалов. [24] |
В последнее время с целью упрощения технологии, а также из экономических соображений стараются исключить этап дегазации за счет сокращения времени нанесения покрытия и предотвращения нагрева подложки в вакууме. Разработаны многокамерные установки, в которых рабочих объем разделен на несколько отсеков с индивидуальной откачкой. В многокамерных установках металлизируют даже материалы с большим содержанием летучих компонентов. На рис. 194 показаны схемы однокамерной и многокамерных установок. Основной барабан, к которому прижимается полоса при металлизации, охлаждается водой. [25]
Страницы: 1 2